1,、 X向橫梁：采用精密斜梁技術(shù)。
2,、Y向?qū)к墸翰捎玫闹苯蛹庸ぴ诠ぷ髋_(tái)上的整體下燕尾槽定位結(jié)構(gòu),。
3、導(dǎo)軌方式：采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的四面環(huán)抱式靜壓氣浮導(dǎo)軌,。
4,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：采用本產(chǎn)高性能DC直流柔性同步齒形帶傳動(dòng)裝置，各軸均有限位和電子控制,，傳動(dòng)更快捷,、運(yùn)動(dòng)性能更佳。
5,、Z向主軸：可調(diào)節(jié)的氣動(dòng)平衡裝置,，提高了Z軸的定位精度。
6,、控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口的雙計(jì)算機(jī)三座標(biāo)專用控制系統(tǒng),。
7、機(jī)器系統(tǒng)：采用計(jì)算機(jī)輔助3D誤差修正技術(shù)（CAA）,，保證系統(tǒng)的長期的穩(wěn)定性和高精度,。
8、測量軟件：采用功能強(qiáng)大的3D-DMIS測量軟件包,，具有完善的測量功能和聯(lián)機(jī)功能,。
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