BAG302 中到超高真空真空計(jì)

INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的廣泛測(cè)量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計(jì) BAG302 能夠輕松地更換雙絲極傳感器,、內(nèi)置 OLED 顯示器,、設(shè)定點(diǎn)繼電器和對(duì)數(shù)線性模擬輸出以及集成 RS485 數(shù)字接口，提高了集成靈活性,。這些功能配以堅(jiān)固的設(shè)計(jì),，使 BAG302 為其自身的基本壓力測(cè)量?jī)x器帶來經(jīng)濟(jì)且可重復(fù)的過程，并提供高價(jià)值/低擁有成本的選擇,。

好處
1,，測(cè)量范圍從 1.3 × 10-9至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9至 5 × 10-2Torr）
2，雙標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲
3,，一體式主動(dòng)測(cè)量?jī)x,，內(nèi)置顯示器、設(shè)定點(diǎn),、模擬輸出和標(biāo)準(zhǔn)集成式 RS485 數(shù)字接口
4,，帶鍵盤的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏,，簡(jiǎn)化設(shè)置、操作和編程
5,，用戶可編程的設(shè)定點(diǎn)繼電器
6,，用戶可編程的顯示器單位：mbar、Torr 或 Pa
7,，用戶可選的發(fā)射電流自動(dòng)設(shè)換范圍
8,，機(jī)械強(qiáng)度和堅(jiān)固性
9，各種法蘭的選擇
10,，易于更換的傳感元件
11,，合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、RoHS

12,，直接取代 Granville-Phillips®354 Micro-Ion®模塊 – 包括軟件命令在內(nèi)的相同控制功能 （RS485）（Granville-Phillips®和 Micro-Ion®是 MKS Instruments,， Andover， MA 的注冊(cè)商標(biāo)）

新聞

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典型應(yīng)用
1,，對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
2，工業(yè)鍍膜
3,，低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

BAG302 中到超高真空真空計(jì)