英福康高壓強熱電離皮拉尼真空計HPG400將高壓強熱電離與皮拉尼真空計綜合,，在一個小型, 輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中, 測量壓強從 2 x 10-6 毫巴至大氣壓（1.5 x 10-6 乇至 大氣壓）,。 HPG400提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強測量, 用于準確濺射過程的壓強控制。

優(yōu)勢

1.英?？蹈邏簭姛犭婋x皮拉尼真空計節(jié)省成本和設(shè)備空間, 降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

2.高壓強熱電離真空計從1×10-5至1毫巴為要求高的過程控制提供準確, 可靠的壓強測量

3.用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作

4.皮拉尼聯(lián)鎖保護熱陰極防止它過早燒毀

5.備有可選的圖形顯示器和Fieldbus接口

6.高真空皮拉尼自動調(diào)整, 減少操作人員的干預(yù)

用途

1.半導(dǎo)體制造中濺射工藝應(yīng)用, 電子學(xué)和傳媒工業(yè)

2.工業(yè)鍍膜

3.在低至高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制