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SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX

時(shí)間:2012-11-15閱讀:2220
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SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX/39529829/39529839:單榮兵
SUNX傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的,。  傳感器(圖3)
通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上。   薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的,。使用混合工藝時(shí),,同樣可將部分電路制造在此基板上。   厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,,涂覆在陶瓷基片上制成的,,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,,使厚膜成形,。   陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠、凝膠等),。   完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,,在某些方面,,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型,。   每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究,、開發(fā)和所需的資本投入較低,,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理,。
按測量目分類
物理型傳感器是利用被測量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的,。   化學(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的,。   生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,,用以檢測與識別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器。SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX/39529829/39529839:單榮兵
傳感器又有作用型和反作用型,,此種傳感器對被測對象能發(fā)出定探測信號,,能檢測探測信號在被測對象中所產(chǎn)生的變化,或者由探測信號在被測對象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號,。檢測探測信號變化方式的稱為作用型,,檢測產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號方式的稱為反作用型。雷達(dá)與無線電頻率范圍探測器是作用型實(shí)例,,而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實(shí)例,。   被動(dòng)型傳感器只是接收被測對象本身產(chǎn)生的信號,如紅外輻射溫度計(jì),、紅外攝像裝置等,。編輯本段主要特性傳感器靜態(tài)特性
  傳感器的靜態(tài)特性是指對靜態(tài)的輸入信號,  傳感器(圖4)
傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系,。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無關(guān),,所以它們之間的關(guān)系,即傳感器的靜態(tài)特性可用個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程,,或以輸入量作橫坐標(biāo),,把與其對應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度,、靈敏度,、遲滯、重復(fù)性,、漂移等,。   1、線性度:指傳感器輸出量與輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度,。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比,。   2,、靈敏度:靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的個(gè)重要指標(biāo),。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比,。用S表示靈敏度。   SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX傳感器,SUNX/39529829/39529839:單榮兵
3,、遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對于同大小的輸入信號,,傳感器的正反行程輸出信號大小不相等,,這個(gè)差值稱為遲滯差值。   4,、重復(fù)性:重復(fù)性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續(xù)多次變化時(shí),,所得特性曲線不致的程度。   5,、漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,,傳感器輸出量隨著時(shí)間變化,此現(xiàn)象稱為漂移,。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面:是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù),;二是周圍環(huán)境(如溫度、濕度等),。   6,、分辨力:當(dāng)傳感器的輸入從非零值緩慢增加時(shí),在超過某增量后輸出發(fā)生可觀測的變化,,這個(gè)輸入增量稱傳感器的分辨力,,即zui小輸入增量。
傳感器的實(shí)際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線,。在實(shí)際工作中,,為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù),常用條擬合直線近似地代表實(shí)際的特性曲線,、線性度(非線性誤差)就是這個(gè)近似程度的個(gè)指標(biāo),。   擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點(diǎn)相連的理論直線作為擬合直線,;或?qū)⑴c特性曲線上各點(diǎn)偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線,,此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。
傳感器的靈敏度/39529829/39529839:單榮兵
  靈敏度是指傳感器在穩(wěn)態(tài)工作情況  傳感器(圖5)
下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值,。   它是輸出輸入特性曲線的斜率,。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關(guān)系,則靈敏度S是個(gè)常數(shù),。否則,,它將隨輸入量的變化而變化。   靈敏度的量綱是輸出,、輸入量的量綱之比,。例如,,某位移傳感器,在位移變化1mm時(shí),,輸出電壓變化為200mV,,則其靈敏度應(yīng)表示為200mV/mm。   當(dāng)傳感器的輸出,、輸入量的量綱相同時(shí),,靈敏度可理解為放大倍數(shù)。   提高靈敏度,,可得到較高的測量精度,。但靈敏度愈高,測量范圍愈窄,,穩(wěn)定性也往往愈差,。
傳感器的分辨率
  分辨率是指傳感器可感受到的被測量的zui小變化的能力。也就是說,,如果輸入量從某非零值緩慢地變化,。當(dāng)輸入變化值未超過某數(shù)值時(shí),傳感器的輸出不會(huì)發(fā)生變化,,即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的,。只有當(dāng)輸入量的變化超過分辨率時(shí),其輸出才會(huì)發(fā)生變化,。   通常傳感器在滿量程范圍內(nèi)各點(diǎn)的分辨率并不相同,,因此常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的zui大變化值作為衡量分辨率的指標(biāo)。上述指標(biāo)若用滿量程的百分比表示,,則稱為分辨率,。分辨率與傳感器的穩(wěn)定性有負(fù)相相關(guān)性。/39529829/39529839:單榮兵

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