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BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,銷售/39529839/39529830:單榮兵
BALLUFF位移傳感器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,,被內(nèi)部的CCD線性相機接收,根據(jù)不同的距離,,CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點,。根據(jù)這個角度及已知的激光和相機之間的距離,,數(shù)字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離,。 同時,,光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理,,并通過微處理器分析,計算出相應(yīng)的輸出值,,并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi),,按比例輸出標準數(shù)據(jù)信號。如果使用開關(guān)量輸出,,則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通,,窗口之外截止。另外,,模擬量與開關(guān)量輸出可獨立設(shè)置檢測窗口,。 采取三角測量法的激光位移傳感器zui高線性度可達1um,分辨率更是可達到0.1um的水平,。比如ZLDS100類型的傳感器,它可以達到0.01%高分辨率,,0.1%高線性度,,9.4KHz高響應(yīng),適應(yīng)惡劣環(huán)境,。
BALLUFF位移傳感器只要是有定周期的曲線簇重疊起來,,便會產(chǎn)生莫爾條紋。計量光柵在實際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種,;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵,;按其用途可分為直線光柵和圓光柵,。下面以透射光柵為例加以討論,。BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,,銷售/39529839/39529830:單榮兵
透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線,,a為刻線寬,,b為兩刻線之間縫寬,,W=a+b稱為光柵柵距,。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10,、25,、50,、100、250條等線條,。光柵的橫向莫爾條紋測位移,,需要兩塊光柵。塊光柵稱為主光柵,,它的大小與測量范圍相致,;另塊是很小的塊,稱為指示光柵,。為了測量位移,,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件,。當主光柵和指示光柵相對移動時,,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動,,固定在指示光柵側(cè)的光電元件,,將光強變化轉(zhuǎn)換成電信號,。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,,使得信號為脈動信號。如圖 1,,此信號是直流信號和近視正弦的周期信號的疊加,周期信號是位移x的函數(shù),。每當x變化個光柵柵距W,,信號就變化個周期,信號由b點變化到b’點,。由于bb’=W,,故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)*樣,只是在相位上增加了2π,。
BALLUFF位移傳感器在實際應(yīng)用中,,位移具有兩個方向,即選定個方向后,,位移有正負之分,因此用個 光電元件測定莫爾條紋信號確定不了位移方向,。為了辨向,,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號。如圖2,,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,,得到兩個相位差π/2的電信號u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個方波信號u01’和u02’,。光柵正向移動時u01超前u02 90度,,反向移動時u02超前u01 90度,,故通過電路辨相可確定光柵運動方向,。BALLUFF位移傳感器,BALLUFF,巴魯夫,,銷售/39529839/39529830:單榮兵
細分技術(shù)
隨著對測量精度要求的提高,,以柵距為單位已不能滿足要求,,需要采取適當?shù)拇胧δ獱枟l紋進行細分,。所謂細分就是在莫爾條紋信號變化個周期內(nèi),,發(fā)出若干個脈沖,,以減少脈沖當量,。如個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,則可使測量精度提高n備,,而每個脈沖相當于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,,因此也稱n倍頻,。 通常用的有兩種細分方法:其、直接細分,。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,,可得到兩個相位差90o的電信號,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號,。同樣,,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號,,實現(xiàn)四倍頻細分,。其二,、電路細分。
BALLUFF位移傳感器的功能在于把直線機械位移量轉(zhuǎn)換成電信號,。為了達到這效果,,通常將可變電阻滑軌定置在傳感器的固定部位,通過滑片在滑軌上的位移來測量不同的阻值,。傳感器滑軌連接穩(wěn)態(tài)直流電壓,允許流過微安培的小電流,,滑片和始端之間的電壓,,與滑片移動的長度成正比,。將傳感器用作分壓器可zui大限度降低對滑軌總阻值性的要求,因為由溫度變化引起的阻值變化不會影響到測量結(jié)果,。 /39529839/39529830:單榮兵
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