FESTO氣動元件,FESTO傳感器,festo閥,費斯托氣動元件/39529839/39529830：單榮兵
FESTO傳感器的特點包括：微型化,、數(shù)字化、智能化,、多功能化,、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡化,，它不僅促進了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造和更新?lián)Q代,，而且還可能建立新型工業(yè)，從而成為21世紀新的經(jīng)濟增長點,。微型化是建立在微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)基礎上的,，目前已成功應用在硅器件上做成硅壓力傳感器。
壓力敏和力敏傳感器,、位置傳感器,、液位傳感器、能耗傳感器,、速度傳感器,、加速度傳感器、射線輻射傳感器,、熱敏傳感器,。
按原理分類
振動傳感器,、濕敏傳感器,、磁敏傳感器、氣敏傳感器,、真空度傳感器,、生物傳感器等。
按輸出信號為標準分類
模擬傳感器：將被測量  傳感器（圖2）
的非電學量轉(zhuǎn)換成模擬電信號,。 　　數(shù)字傳感器：將被測量的非電學量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號（包括直接和間接轉(zhuǎn)換）,。 　　膺數(shù)字傳感器：將被測量的信號量轉(zhuǎn)換成頻率信號或短周期信號的輸出（包括直接或間接轉(zhuǎn)換）。 　　開關傳感器：當個被測量的信號達到某個特定的閾值時,，傳感器相應地輸出個設定的低電平或高電平信號,。
按其制造工藝分類FESTO氣動元件,FESTO傳感器,festo閥,費斯托氣動元件/39529839/39529830：單榮兵

傳感器是用標準的硅基半導體集成電路的工藝技術(shù)制造的。  傳感器（圖3）
通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上,。 　　薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的,，相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,，同樣可將部分電路制造在此基板上,。 　　厚膜傳感器是利用相應材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的,，基片通常是Al2O3制成的,，然后進行熱處理,，使厚膜成形。 　　陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠,、凝膠等）,。 　　完成適當?shù)念A備性操作之后，已成形的元件在高溫中進行燒結(jié),。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,，在某些方面，可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型,。 　　每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點和不足,。由于研究、開發(fā)和所需的資本投入較低,，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
按測量目分類
物理型傳感器是利用被測量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的,。 　　化學型傳感器是利用能把化學物質(zhì)的成分,、濃度等化學量轉(zhuǎn)化成電學量的敏感元件制成的。 　　生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,，用以檢測與識別生物體內(nèi)化學成分的傳感器,。
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傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關,，所以它們之間的關系,，即傳感器的靜態(tài)特性可用個不含時間變量的代數(shù)方程，或以輸入量作橫坐標,，把與其對應的輸出量作縱坐標而畫出的特性曲線來描述,。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有：線性度、靈敏度,、遲滯,、重復性、漂移等,。 　　1,、線性度：指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內(nèi)實際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比,。 　　2,、靈敏度：靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的個重要指標。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比,。用S表示靈敏度,。 　　3、遲滯：傳感器在輸入量由小到大（正行程）及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯,。對于同大小的輸入信號,，傳感器的正反行程輸出信號大小不相等，這個差值稱為遲滯差值,。 　　4,、重復性：重復性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續(xù)多次變化時，所得特性曲線不致的程度,。 　　5,、漂移：傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下，傳感器輸出量隨著時間變化,，此現(xiàn)象稱為漂移,。產(chǎn)生漂移的原因有兩個方面：是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù)；二是周圍環(huán)境（如溫度,、濕度等）,。 　　6、分辨力：當傳感器的輸入從非零值緩慢增加時,，在超過某增量后輸出發(fā)生可觀測的變化,，這個輸入增量稱傳感器的分辨力，即zui小輸入增量,。 　　7,、閾值：當傳感器的輸入從零值開始緩慢增加時，在達到某值后輸出發(fā)生可觀測的變化,，這個輸入值稱傳感器的閾值電壓,。
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　　所謂動態(tài)特性，是指傳感器在輸入變化時,，它的輸出的特性,。在實際工作中，傳感器的動態(tài)特性常用它對某些標準輸入信號的響應來表示,。這是因為傳感器對標準輸入信號的響應容易用實驗方法求得，并且它對標準輸入信號的響應與它對任意輸入信號的響應之間存在定的關系,，往往知道了前者就能推定后者,。zui常用的標準輸入信號有階躍信號和正弦信號兩種，所以傳感器的動態(tài)特性也常用階躍響應和頻率響應來表示,。
傳感器的線性度
　　通常情況下,，傳感器的實際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實際工作中,，為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù),，常用條擬合直線近似地代表實際的特性曲線、線性度（非線性誤差）就是這個近似程度的個指標,。 　　擬合直線的選取有多種方法,。如將零輸入和滿量程輸出點相連的理論直線作為擬合直線,；或?qū)⑴c特性曲線上各點偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線，此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線,。/39529839/39529830：單榮兵