FESTO氣動(dòng)元件,FESTO傳感器,festo閥,費(fèi)斯托氣動(dòng)元件/39529839/39529830：單榮兵
FESTO傳感器的特點(diǎn)包括：微型化,、數(shù)字化,、智能化,、多功能化,、系統(tǒng)化,、網(wǎng)絡(luò)化，它不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造和更新?lián)Q代,，而且還可能建立新型工業(yè),，從而成為21世紀(jì)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)基礎(chǔ)上的,，目前已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器,。
壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液位傳感器,、能耗傳感器,、速度傳感器,、加速度傳感器,、射線輻射傳感器、熱敏傳感器,。
按原理分類
振動(dòng)傳感器,、濕敏傳感器、磁敏傳感器,、氣敏傳感器,、真空度傳感器、生物傳感器等,。
按輸出信號(hào)為標(biāo)準(zhǔn)分類
模擬傳感器：將被測量  傳感器（圖2）
的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào),。 　　數(shù)字傳感器：將被測量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)（包括直接和間接轉(zhuǎn)換）。 　　膺數(shù)字傳感器：將被測量的信號(hào)量轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)或短周期信號(hào)的輸出（包括直接或間接轉(zhuǎn)換）,。 　　開關(guān)傳感器：當(dāng)個(gè)被測量的信號(hào)達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí),，傳感器相應(yīng)地輸出個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號(hào)。
按其制造工藝分類FESTO氣動(dòng)元件,FESTO傳感器,festo閥,費(fèi)斯托氣動(dòng)元件/39529839/39529830：單榮兵

傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的,。  傳感器（圖3）
通常還將用于初步處理被測信號(hào)的部分電路也集成在同芯片上,。 　　薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的,。使用混合工藝時(shí),，同樣可將部分電路制造在此基板上。 　　厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,，涂覆在陶瓷基片上制成的,，基片通常是Al2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理,，使厚膜成形,。 　　陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠、凝膠等）,。 　　完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,，在某些方面,，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。 　　每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,。由于研究,、開發(fā)和所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理,。
按測量目分類
物理型傳感器是利用被測量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的,。 　　化學(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的,。 　　生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,，用以檢測與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器。
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傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系,。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無關(guān),，所以它們之間的關(guān)系，即傳感器的靜態(tài)特性可用個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程,，或以輸入量作橫坐標(biāo),，把與其對(duì)應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有：線性度,、靈敏度,、遲滯、重復(fù)性,、漂移等,。 　　1、線性度：指傳感器輸出量與輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度,。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比,。 　　2、靈敏度：靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的個(gè)重要指標(biāo),。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比,。用S表示靈敏度。 　　3,、遲滯：傳感器在輸入量由小到大（正行程）及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對(duì)于同大小的輸入信號(hào),，傳感器的正反行程輸出信號(hào)大小不相等,，這個(gè)差值稱為遲滯差值。 　　4,、重復(fù)性：重復(fù)性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續(xù)多次變化時(shí),，所得特性曲線不致的程度。 　　5,、漂移：傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,，傳感器輸出量隨著時(shí)間變化，此現(xiàn)象稱為漂移,。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面：是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù),；二是周圍環(huán)境（如溫度,、濕度等）。 　　6,、分辨力：當(dāng)傳感器的輸入從非零值緩慢增加時(shí),，在超過某增量后輸出發(fā)生可觀測的變化，這個(gè)輸入增量稱傳感器的分辨力,，即zui小輸入增量,。 　　7、閾值：當(dāng)傳感器的輸入從零值開始緩慢增加時(shí),，在達(dá)到某值后輸出發(fā)生可觀測的變化,，這個(gè)輸入值稱傳感器的閾值電壓。
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　　所謂動(dòng)態(tài)特性,，是指傳感器在輸入變化時(shí)，它的輸出的特性,。在實(shí)際工作中,，傳感器的動(dòng)態(tài)特性常用它對(duì)某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)來表示。這是因?yàn)閭鞲衅鲗?duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得,，并且它對(duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)與它對(duì)任意輸入信號(hào)的響應(yīng)之間存在定的關(guān)系,，往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信號(hào)和正弦信號(hào)兩種,，所以傳感器的動(dòng)態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示,。
傳感器的線性度
　　通常情況下，傳感器的實(shí)際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線,。在實(shí)際工作中,，為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù)，常用條擬合直線近似地代表實(shí)際的特性曲線,、線性度（非線性誤差）就是這個(gè)近似程度的個(gè)指標(biāo),。 　　擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點(diǎn)相連的理論直線作為擬合直線,；或?qū)⑴c特性曲線上各點(diǎn)偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線,，此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。/39529839/39529830：單榮兵