*TURCK傳感器原理及資料，TURCK傳感器/39529839/39529829：?jiǎn)螛s兵
　　
　　TURCK傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的,。使用混合工藝時(shí)，同樣可將部分電路制造在此基板上,。厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的,，然后進(jìn)行熱處理,，使厚膜成形。陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠,、凝膠等）,。完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié),。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,。由于研究,、開發(fā)和所需的資本投入較低，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理,。
　　
　　按測(cè)量目分類
　　
　　物理型傳感器是利用被測(cè)量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的?；瘜W(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分,、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,，用以檢測(cè)與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器,。
　　
　　按其構(gòu)成分類
　　
　　基本型傳感器：是種zui基本的單個(gè)變換裝置。組合型傳感器：是由不同單個(gè)變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器,。應(yīng)用型傳感器：是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機(jī)構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器,。*TURCK傳感器原理及資料，TURCK傳感器/39529839/39529829：?jiǎn)螛s兵
　　
　　按作用形式分類
　　
　　按作用形式可分為主動(dòng)型和被動(dòng)型傳感器,。主動(dòng)型傳感器又有作用型和反作用型,，此種傳感器對(duì)被測(cè)對(duì)象能發(fā)出定探測(cè)信號(hào)，能檢測(cè)探測(cè)信號(hào)在被測(cè)對(duì)象中所產(chǎn)生的變化,，或者由探測(cè)信號(hào)在被測(cè)對(duì)象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號(hào),。檢測(cè)探測(cè)信號(hào)變化方式的稱為作用型，檢測(cè)產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號(hào)方式的稱為反作用型,。雷達(dá)與無線電頻率范圍探測(cè)器是作用型實(shí)例,，而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實(shí)例。被動(dòng)型傳感器只是接收被測(cè)對(duì)象本身產(chǎn)生的信號(hào),，如紅外輻射溫度計(jì),、紅外攝像裝置等。
　　
　　傳感器的靜態(tài)特性是指對(duì)靜態(tài)的輸入信號(hào),，傳感器（圖4）
　　
　　傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系,。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無關(guān)，所以它們之間的關(guān)系,，即傳感器的靜態(tài)特性可用個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程,，或以輸入量作橫坐標(biāo)，把與其對(duì)應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述,。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有：線性度,、靈敏度、遲滯,、重復(fù)性,、漂移等,。1、線性度：指?jìng)鞲衅鬏敵隽颗c輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度,。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比,。2、靈敏度：靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的個(gè)重要指標(biāo),。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比,。用S表示靈敏度。3,、遲滯：傳感器在輸入量由小到大（正行程）及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對(duì)于同大小的輸入信號(hào),，傳感器的正反行程輸出信號(hào)大小不相等,，這個(gè)差值稱為遲滯差值。4,、重復(fù)性：重復(fù)性是指?jìng)鞲衅髟谳斎肓堪赐较蜃魅砍踢B續(xù)多次變化時(shí),，所得特性曲線不致的程度。5,、漂移：傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,，傳感器輸出量隨著時(shí)間變化，此現(xiàn)象稱為漂移,。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面：是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù),；二是周圍環(huán)境（如溫度、濕度等）,。6,、分辨力：當(dāng)傳感器的輸入從非零值緩慢增加時(shí)，在超過某增量后輸出發(fā)生可觀測(cè)的變化,，這個(gè)輸入增量稱傳感器的分辨力，即zui小輸入增量,。7,、閾值：當(dāng)傳感器的輸入從零值開始緩慢增加時(shí)，在達(dá)到某值后輸出發(fā)生可觀測(cè)的變化,，這個(gè)輸入值稱傳感器的閾值電壓,。
　　
　　傳感器動(dòng)態(tài)特性
　　
　　所謂動(dòng)態(tài)特性，是指?jìng)鞲衅髟谳斎胱兓瘯r(shí),，它的輸出的特性,。在實(shí)際工作中，傳感器的動(dòng)態(tài)特性常用它對(duì)某些標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)來表示,。這是因?yàn)閭鞲衅鲗?duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)容易用實(shí)驗(yàn)方法求得,，并且它對(duì)標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)的響應(yīng)與它對(duì)任意輸入信號(hào)的響應(yīng)之間存在定的關(guān)系,，往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標(biāo)準(zhǔn)輸入信號(hào)有階躍信號(hào)和正弦信號(hào)兩種,，所以傳感器的動(dòng)態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示,。*TURCK傳感器原理及資料，TURCK傳感器/39529839/39529829：?jiǎn)螛s兵