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泵

泵（FPD用電動CT泵）

在要求均一涂膜的液晶、PDP,、有機(jī)EL等基板用涂膠對應(yīng)電動泵,。高信賴的CT泵構(gòu)造更加進(jìn)化、能夠控制定流量。zui大吐出量：３０ml,、６０ml,、１００ml、２００ml,、可以根據(jù)顧客基板的尺寸結(jié)合用途選擇泵,。

泵（電動CT泵）

對應(yīng)微細(xì)化半導(dǎo)體晶片的下一代電動泵。世界（注）CT泵的構(gòu)造開發(fā),、低發(fā)塵,、除泡性好、以簡單的構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了高精度,。

電動CT泵F-EPT系列F-EPT30型

●于液晶,、PDP、有機(jī)EL機(jī)等基板用狹縫涂布機(jī)對平均涂抹的要求,。
●使用流體：光刻膠,、純水、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定,，導(dǎo)入時,，請事前聯(lián)絡(luò)、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	3～30	0.05～3

電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型

●于液晶,、PDP,、有機(jī)EL機(jī)等基板用狹縫涂布機(jī)對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠,、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定，導(dǎo)入時,，請事前聯(lián)絡(luò),、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	6～60	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT100型

●于液晶、PDP,、有機(jī)EL機(jī)等基板用狹縫涂布機(jī)對平均涂抹的要求,。
●使用流體：光刻膠、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定,，導(dǎo)入時，請事前聯(lián)絡(luò)、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	10～100	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	20～200	0.1～15

電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型

●于液晶、PDP,、有機(jī)EL機(jī)等基板用狹縫涂布機(jī)對平均涂抹的要求,。
●使用流體：光刻膠、純水,、藥液（可燃性物質(zhì)不可）※選定,，導(dǎo)入時，請事前聯(lián)絡(luò),、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	30～300	0.1～12