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產(chǎn)品關鍵詞：單晶硅片測厚儀,、單晶硅片厚度檢測儀器、單晶硅片厚度測量儀器,、單晶硅片厚度測試儀

Labthink蘭光的CHY-CA改款型測厚儀,，可用于單晶硅片厚度的檢測，測試分辯率高達0.1微米,，*單晶硅片對厚度高精度測試的要求,；同時測試幅面寬度可以達到400mm，*單晶硅片整個幅面厚度測試的要求,。CHY-CA改款型測厚儀除了具備高精度,、率等特點外,，還采用測量樣品自動前進驅動系統(tǒng)，大大提高了測試效率,，充分滿足用戶連續(xù)測試的要求,，并配有專業(yè)軟件支持,，操作方便,、人機交互友好。

1,、結構組成 
   CHY-CA改款型測厚儀主要由控制系統(tǒng),、測量系統(tǒng)、打印輸出系統(tǒng)三部分組成,。測量系統(tǒng)對薄膜進行測量,，并輸出相應電信號；控制系統(tǒng)用以參數(shù)的設定,、修改,、傳輸信號的處理、測量結果的顯示等,；打印輸出系統(tǒng)的功能是統(tǒng)計結果的輸出,，打印試驗結果。