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全自動晶圓曝光機(jī)UH204是Ultron Systems紫外線固化機(jī),作為全自動UV曝光設(shè)備,具有高效率和成本效益,。固化時間非?？?與其他UV固化系統(tǒng)相當(dāng),同時保持UV曝光均勻性。固化采用了一種冷光源UV-a 365nm工藝,，以及一種環(huán)保,、無臭氧的UV燈陣列。
全自動晶圓曝光機(jī)特征：
-全自動單盒操作系統(tǒng)
-最多8英寸（200mm）晶片容量,，包括6英寸或8英寸薄膜框架適配器
-自動掃描功能檢測暗盒載體中是否存在膠片框
-環(huán)保型無臭氧紫外線燈
-快速固化時間
-易于編程的微處理器控制器
-可重復(fù),、可靠的單盒操作
-成本/性能價值
-低溫UVA 365nm固化工藝

-高效節(jié)能

-石英玻璃窗

-燈強度測量端口