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自動晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)SWTS是自動晶片轉(zhuǎn)移機,可以根據(jù)需要分割、合并,、排序、壓縮晶片批次或創(chuàng)建單個晶片混合,。
自動晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)配備有兩個加載端口和機械晶片凹口/平面對準器,。晶片處理通過邊緣夾持實現(xiàn)，因此不需要真空。
自動晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)還配備了一個自動批量晶片夾持器,，用于轉(zhuǎn)移整批晶片,。
自動晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可用于100、125,、150和200mm晶片,。
自動晶圓轉(zhuǎn)移系統(tǒng)特點
吞吐量可達700 wph
低擁有成本
桌面系統(tǒng)或帶支架
不需要真空
單質(zhì)量晶圓傳輸
*SECS/GEM合規(guī)
Windows操作系統(tǒng)
靜電安全
RFID磁帶識別
可能升級到WAFERIIdentification
可靠，無易損件