目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學精密機械類>>電動平移臺>> FPASI-3D/4D-stage電動三維位移臺,XYZ位移tai
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 應用領域 | 地礦,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
| 定位精度 | 10nm |
電控三維位移臺3D/4D-stage是專業(yè)為激光光學安裝固定設計的電控XYZ位移臺,并且可在三軸位移臺基礎上加上旋轉(zhuǎn)臺組成四軸位移臺功能,。
電控三維位移臺采用三個電控直線線性位移臺組成,可以增選一個電控旋轉(zhuǎn)臺用于θ軸旋轉(zhuǎn),。三維位移臺組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm,、100mm或200mm,每個軸可以獨立選擇。
圖1：電控三維位移臺實物圖3D-stage
三個XYZ三維線性位移臺采用閉環(huán)直流伺服電機,交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺平滑和精確的運動,。與其它工作臺一樣,，這些電控三維位移臺可以極慢的速度均勻移動，電控三維位移臺提供各種速度/精度選項,也可訂制3D/4D位移臺系統(tǒng),通常通過一個適配板把各個位移臺組裝在一起,。
電控三維位移臺可以使用各種各樣的控制器,，這些控制器和工作臺可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器，可自動糾偏,，并可通過RS-232或USB連接與上機位進行通訊,。
電控三維位移臺參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | 尺寸 |
| 編碼器分辨率* | 5.5 nm |
| 線性編碼器 | 10 nm |
| RMS重復精度（典型） | < 0.7 μm |
| 采用線性編碼器重復精度（典型） | 200 nm |
| 絲桿精度 | 0.25 μm/mm |
| 采用線性編碼器后的絲杠精度 | ± 3 μm/length scale |
| 最大速度* | 1.75 mm/sec |
| 行程范圍 | 25~100mm |
*注：采用1.59 mm螺距的絲杠（16TPL）
電控三維位移臺絲杠附件
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 最大速度 |
| 25.40 mm (極粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
| 6.35 mm (標準) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (細) | 5.5 nm | 1.75mm/sec |
| 0.635 mm (極細) | 2.2 nm | 0.7mm/sec |
注：采用旋轉(zhuǎn)編碼器和6.35毫米螺距絲桿
圖2：電動四維位移臺4D-stage俯視圖（由XYZ三維位移臺+旋轉(zhuǎn)臺構(gòu)成）
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