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這款磁探針臺可提供三維磁場控制,滿足磁性控制RF探針測試應用.作為磁場探針臺實現(xiàn)了平面磁場的任意操控,方便自旋電子器件探針測試.
磁探針臺特點

提供使用磁場的任意三維方向的探針臺,，適合用于自旋電子學研究應用

提供在除了垂直磁場方向上的晶圓探測，適合在生產中的自旋電子學設備測試,。

*可定制的基于LABView的控制軟件可易與普遍的測試和測量設備結合使用

用于微米水平探針定位的有效的具有80TPI螺桿的高分辨率微位置

具有大范圍的輸出格式和可用設置的數(shù)據(jù)收集和/或分析

系統(tǒng)配有3個霍爾探頭和資料解析以提高磁場穩(wěn)定性和精度

磁探針臺規(guī)格參數(shù)

適合晶圓尺寸：100mm, 150mm, 200mm

磁場方向：任意3D

最大磁場：0.6T

磁場方向精度：+/-0.1度

磁場不均勻性：+/-2% @10mm直徑區(qū)域

磁場穩(wěn)定性：0.1%

晶圓XY定位分辨率：3um

Z軸行程： 12.5mm