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無氦低溫探針臺CPS-CF是為極低溫探針測試設(shè)計的閉循環(huán)低溫探針臺系統(tǒng),適合低溫下對器件和電路進行探針測試。
無氦低溫探針臺CPS-CF內(nèi)置隔振、智能熱管理和熱膨脹補償機制,使該探針臺具有廣泛的應(yīng)用能力,，從納米電子學(xué)（石墨烯研究、分子電子學(xué)等）到太空電子學(xué)都可使用,。
該無氦低溫探針臺CPS-CF采用閉式循環(huán)制冷器和專有的熱管理系統(tǒng)便宜快捷的操作,。內(nèi)置隔振器可將振動降至行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平。超穩(wěn)定的微操作臺保證了精確和可重復(fù)的接觸的設(shè)備探頭裝置功能,。廣泛選擇的探針和晶圓卡盤滿足從超精密到射頻測量的諸多應(yīng)用,。
無氦低溫探針臺CPS-CF特點

性價比高，穩(wěn)定可靠,，使用方便,。

低溫晶圓尺寸測試和低溫半導(dǎo)體測試。

溫度范圍從4K到480K（0.1K或更高精度）,。如果配備不同的CCR,，則可提供不同的范圍。

閉式循環(huán)制冷器,，無制冷劑運行,，經(jīng)濟高效。

適合經(jīng)營直徑達1英寸,、2英寸,、4英寸、6英寸或8英寸晶圓的低溫設(shè)備特性（取決于型號）,。

直流到67GHz以上的測量采用單CCR解決方案,，110GHz以上的測試采用雙CCR解決方案。

4個微操作探針臂（可選配置中最多8個）,，具有高度精確的XYZ和可選的θ (用于RF和楔形直流探頭）調(diào)整,。

熱錨定探針頭。

可選的一級冷卻輻射快門和一級冷卻藍寶石視窗,。

溫控輻射屏蔽

清晰的頂部視窗（可選擇高純度石英）,。

高頻振動阻尼

無氦低溫探針臺CPS-CF可選項

樣品尺寸：不超過25mm、50mm,、100mm,、150mm或200mm。

無制冷劑閉式循環(huán)制冷器,，包括冷頭,、壓縮機、冷卻器和所需的氦軟管,。

溫度范圍：標(biāo)準(zhǔn)10K至400K,，可選4.2K至480K,。

溫度精度：0.1K或更高。

熱錨定探針臂和輻射屏蔽,。

溫控樣品卡盤,。

卡盤和探針臂的溫度監(jiān)控。輻射屏蔽和冷凍頭的溫度監(jiān)測是可選的,。

真空基準(zhǔn)壓力（當(dāng)CCR關(guān)閉時）1.0x10-5托標(biāo)準(zhǔn),，可選擇降至10-6托以下（當(dāng)CCR打開時，可實現(xiàn)壓力降至10-8托以下）,。也提供超高壓版本,。

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂層可供選擇,。

顯微鏡：有多種選擇,。

相機：100萬到1000萬像素的數(shù)碼相機。用于圖像和視頻捕獲的軟件,，以及相機附帶的尺寸測量功能,。