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場致發(fā)射顯微鏡Field Emission Microscope是專業(yè)為半導(dǎo)體器件漏電和門控問題設(shè)計的熒光顯微熱像儀,可確定Ohmic斷路位置。
場致發(fā)射顯微鏡確定斷路位置,快速而清潔,不需要在晶圓上涂層鍍膜,可以在1000nm以下和1800nm波段顯示漏電和門控問題。


圖示：場致發(fā)射顯微鏡Field Emission Microscope及其結(jié)果

場致發(fā)射顯微鏡Field Emission Microscope是專業(yè)為半導(dǎo)體器件漏電和門控問題設(shè)計的熒光顯微熱像儀,可確定Ohmic斷路位置,。
場致發(fā)射顯微鏡確定斷路位置,快速而清潔,不需要在晶圓上涂層鍍膜,可以在1000nm以下和1800nm波段顯示漏電和門控問題。

場致發(fā)射顯微鏡Field Emission Microscope是專業(yè)為半導(dǎo)體器件漏電和門控問題設(shè)計的熒光顯微熱像儀,可確定Ohmic斷路位置,。
場致發(fā)射顯微鏡確定斷路位置,快速而清潔,不需要在晶圓上涂層鍍膜,可以在1000nm以下和1800nm波段顯示漏電和門控問題,。