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高精度激光測(cè)振儀是采用邁克爾遜干涉儀技術(shù)的激光納米測(cè)振儀和微量振動(dòng)測(cè)量?jī)x,單點(diǎn)測(cè)量分辨率高達(dá)亞pm,成像模式分辨率高達(dá)0.1nm,掃描分辨率高達(dá)1nm,還能給出1Hz至2.5MHz的FFT頻譜和2.5MHz以下的彎曲振動(dòng)模態(tài)bending modes。
高精度激光測(cè)振儀全面滿足日益苛刻的研發(fā)和品質(zhì)控制需要和對(duì)MEMS微機(jī)電系統(tǒng)的需求,通過(guò)在樣品上用邁克爾遜干涉儀的聚焦激光束進(jìn)行光柵掃描來(lái)實(shí)現(xiàn),，對(duì)微量振動(dòng)進(jìn)行百萬(wàn)像素微觀結(jié)構(gòu)振動(dòng)成像,測(cè)量顯微圖像中每個(gè)像素的振動(dòng),。,、
高精度激光測(cè)振儀配有壓電式樣品振動(dòng)器和數(shù)字鎖定放大器,用于測(cè)量振動(dòng)的振幅和相位，從中可以重建2.5MHz以下的彎曲模態(tài)bending modes,。

高精度激光測(cè)振儀特色：
所用邁克爾遜干涉儀激光束同時(shí)用于記錄樣品的共焦反射圖像,該圖像本質(zhì)上與振動(dòng)測(cè)量*,。因此，不需要額外的顯微鏡成像系統(tǒng),。
即使控制器和兼容UHV的掃描儀結(jié)構(gòu)非常緊湊,也可提供20毫米尺寸的掃描能力,。

高精度激光測(cè)振儀系統(tǒng)組件：

包含干涉儀、函數(shù)發(fā)生器和鎖定放大器（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）

運(yùn)動(dòng)控制器：執(zhí)行XYZ定位器的閉環(huán)操作,，并包含用于振動(dòng)臺(tái)（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）的功率放大器,。

XYZ掃描儀（10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm），用于光柵掃描樣品上的聚焦激光頭,。

花崗巖板（20 cm x 15 cm x 4 cm）,，帶直徑2.5 cm的柱，用于安裝掃描儀

帶支架的振動(dòng)臺(tái)

高精度激光測(cè)振儀規(guī)格參數(shù)

工作原理：邁克爾遜干涉儀,，單模光纖耦合

測(cè)量激光：1550nmDFB激光二極管,，穩(wěn)定（NIST可追蹤），功率輸出<1 mW（激光等級(jí)1）

激光光斑直徑：7µm（焦點(diǎn)處）

分辨率：?jiǎn)吸c(diǎn)測(cè)量為亞pm,，成像模式為0.1nm,。

成像模式：振幅和相位圖像可以使用所含軟件進(jìn)行分析或?qū)С觥?/p>

單點(diǎn)模式：1Hz至2.5MHz的FFT頻譜，大250萬(wàn)點(diǎn)

數(shù)字鎖定放大器

頻率范圍：500 Hz-2.5 MHz

參考信號(hào)：可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺(tái)和輸出信號(hào)驅(qū)動(dòng)定制執(zhí)行器,。

時(shí)間常數(shù)：可從1微秒調(diào)節(jié)到0.5毫秒

動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)：>100分貝

光學(xué)顯微鏡：

工作原理：共焦激光掃描干涉儀測(cè)量激光

焦距調(diào)整：手動(dòng)或自動(dòng),，帶閉環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)

橫向分辨率：5µm

小像素尺寸：1µm

大圖像尺寸：20 x 20 mm

大像素?cái)?shù)：1000 x 1000
掃描系統(tǒng)：

工作原理：三軸線性壓電驅(qū)動(dòng)，閉環(huán)

分辨率：1nm

重復(fù)精度：30nm

大行程：20 mm（其他根據(jù)要求定制）
尺寸

控制器：每個(gè)33.0 x 27.0 x 7.0 cm（W x L x H）2個(gè)

掃描儀安裝：花崗巖石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm（W x L x H）,，不銹鋼柱2.5 x 15.0 cm（ L x H）

掃描臺(tái)：5.5 x 11.0 x 7.5厘米（W x L x H）

振動(dòng)臺(tái)：不銹鋼8.0 x 1.5 cm（ L x H）