光譜橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,。由于測(cè)量精度高,，適用于超薄膜，與樣品非接觸,，對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空,，使得本儀器成為一種吸引力的測(cè)量?jī)x器,。
儀器構(gòu)造：
在光譜橢偏儀的測(cè)量中使用不同的硬件配置,，但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測(cè)量由被測(cè)樣品反射后光的偏振態(tài),。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ,。
有些儀器測(cè)量ρ是通過(guò)旋轉(zhuǎn)確定初始偏振光狀態(tài)的偏振片。再利用第二個(gè)固定位置的偏振片來(lái)測(cè)得輸出光束的偏振態(tài),。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,，而在中間部分調(diào)制偏振光的狀態(tài)，如利用聲光晶體等,，最終得到輸出光束的偏振態(tài),。這些不同的配置的最終結(jié)果都是測(cè)量作為波長(zhǎng)和入射角復(fù)函數(shù)ρ。
在選擇光譜橢偏儀的時(shí)候,，光譜范圍和測(cè)量速度也是一個(gè)通常需要考慮的重要因素,。可選的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm,。光譜范圍的選擇通常由應(yīng)用決定,。不同的光譜范圍能夠提供關(guān)于材料的不同信息，合適的儀器必須和所要測(cè)量的光譜范圍匹配,。
測(cè)量速度通常由所選擇的分光儀器來(lái)決定,。單色儀用來(lái)選擇單一的、窄帶的波長(zhǎng),，通過(guò)移動(dòng)單色儀內(nèi)的光學(xué)設(shè)備,，單色儀可以選擇感興趣的波長(zhǎng)。這種方式波長(zhǎng)比較準(zhǔn)確,，但速度比較慢,，因?yàn)槊看沃荒軠y(cè)試一個(gè)波長(zhǎng)。如果單色儀放置在樣品前,，有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是明顯減少了到達(dá)樣品的入射光的量,。另外一種測(cè)量的方式是同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜范圍，將復(fù)合光束的波長(zhǎng)展開,，利用探測(cè)器陣列來(lái)檢測(cè)各個(gè)不同的波長(zhǎng)信號(hào),。在需要快速測(cè)量的時(shí)候,，通常是用這種方式。傅立葉變換分光計(jì)也能同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜,，但通常只需一個(gè)探測(cè)器,，而不用陣列，這種方法在紅外光譜范圍應(yīng)用最為廣泛,。
會(huì)員.png)
9
立即詢價(jià)
您提交后,，專屬客服將第一時(shí)間為您服務(wù)