LAUDA-Noah POU
熱電的工藝恒溫控制器，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制,，溫度范圍從 –20 到 90 °C
基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理,，LAUDA-Noah POU熱電的溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態(tài)的溫度控制,，使得POU能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝,。
高效節(jié)能，節(jié)省空間,，同時還能夠穩(wěn)定的控制溫度,，這種智能系統(tǒng)能夠完美的提高wafer to wafer的均勻性。
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