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　　三維輪廓儀是一種用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的測量和計(jì)量設(shè)備,。它不僅可以用于科學(xué)研究，還可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,，該儀器可被視為表面研究的萬用表,。它利用接觸和非接觸功能的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，彌補(bǔ)了兩種模式的局限性,，發(fā)揮了表面形貌儀的測量極限,。光學(xué)非接觸式具有速度快、直接三維成像,、對樣品無損傷等特點(diǎn),。探針接觸模式方便快捷，樣品制備簡單,，測量材料廣泛,。兩種模式結(jié)合使用，可用于研究更多形狀,、性質(zhì)和材料的樣品的表面形態(tài),。
 

　　

　　1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,、波浪度,、表面結(jié)構(gòu)、缺陷分析,、晶粒分析等,。

　　

　　2、二維圖像分析：距離,、半徑,、斜率、網(wǎng)格,、輪廓等,。

　　

　　3、表面和界面測量：透明表面形態(tài),，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,。

　　

　　4,、薄膜和厚膜的階梯高度的測量。

　　

　　5,、劃痕形態(tài),、摩擦和磨損深度、寬度和體積的定量測量。

　　

　　6,、微電子表面分析和MEMS表征,。

　　

　　三維輪廓儀是一種自動(dòng)測量設(shè)備。在測量表面輪廓時(shí),，操作者需要先安裝好輪廓模塊,，然后安裝好待測工件，在驗(yàn)證軟件上設(shè)置好掃描的開始和結(jié)束位置,，點(diǎn)擊"開始"按鈕,，測量針會(huì)自動(dòng)接觸工件表面，并按照設(shè)定的位置進(jìn)行掃描,；在輪廓掃描過程中,，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)繪制輪廓曲線；掃描結(jié)束后,，操作者可以通過輪廓分析工具分析生成的輪廓曲線,，得到直線度、圓度,、角度,、距離和間距等輪廓參數(shù)。

　　

　　三維輪廓儀的維護(hù)說明,。

　　

　　1,、測量結(jié)束后，退出系統(tǒng),，關(guān)閉電腦,，切斷電源。

　　

　　2,、測量結(jié)束后,，用棉花和航空汽油清潔工作臺(tái)和夾具，并涂上防銹油,。

　　

　　3,、注意儀器附件的防銹。

　　

　　4,、定期清洗導(dǎo)軌（具體周期視環(huán)境而定）,，保證導(dǎo)軌的精度。