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涂層測厚儀的分類及測量原理
對材料表面保護、裝飾形成的覆蓋層,,如涂層,、鍍層、敷層,、貼層,、化學生成膜等,在有關國家和標準中稱為覆層(coating),。 覆層厚度測量已成為加工工業(yè),、表面工程質量檢測的重要一環(huán),,是產品達到優(yōu)等質量標準的*手段。為使產品化,,我國出口商品和涉外項目中,,對覆層厚度有了明確的要求。
覆層厚度的測量方法主要有:楔切法,,光截法,,電解法,厚度差測量法,,稱重法,,X射線熒光法,β射線反向散射法,,電容法,、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測,,測量手段繁瑣,,速度慢,多適用于抽樣檢驗,。 X射線和β射線法是無接觸無損測量,,但裝置復雜昂貴,測量范圍較小,。因有放射源,,使用者必須遵守射線防護規(guī)范。X射線法可測極薄鍍層,、雙鍍層,、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量,。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用,。 隨著技術的日益進步,特別是近年來引入微機技術后,,采用磁性法和渦流法的測厚儀向微型,、智能、多功能,、高精度,、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達0.1微米,,精度可達到1%,,有了大幅度的提高。它適用范圍廣,量程寬,、操作簡便且價廉,,是工業(yè)和科研使用zui廣泛的測厚儀器。 采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材,,檢測速度快,,能使大量的檢測工作經濟地進行。