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CEMS煙氣氣體分析系統(tǒng)針對多晶硅工藝的具體情況,，進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)和合理配置。

在太陽能多晶硅工藝中廢氣產(chǎn)生:

酸霧引入凈化塔采用堿液噴淋處理,，尾氣由15m高排氣筒排入大氣,。廢氣排放量15000m³/h， NO₂產(chǎn)生濃度為50-70mg/m³,，經(jīng)堿液噴淋吸收,，排放速率0.018kg/h，NO₂排放濃度為15-20mg/m³,。

產(chǎn)生的S_iC粉塵,，采用旋風(fēng)+高效濾筒除塵器處理，廢氣由15高排氣筒排放,，粉塵排放濃度低于30mg/m³,，排放速率0.027kg/h，

ü     針對工藝中粉塵,，設(shè)計(jì)了三級過濾系統(tǒng),，并配置加熱反吹式過濾探頭，確保氣體分析儀能夠穩(wěn)定工作,，測量精確,；

ü     工藝中會產(chǎn)生水氣,，這對分析儀的檢測帶來很大影響，采用大容量減壓過濾器和冷阱捕水技術(shù)相結(jié)合,，除去樣氣中的水,，保證分析儀的檢測過程順利進(jìn)行；

ü     全部采樣管道采用耐腐蝕的聚四氟乙烯管,，使工藝中產(chǎn)生的大量的SO2和NOx,，等腐蝕性氣體既能得到精確的檢測，同時(shí)保護(hù)整個(gè)分析系統(tǒng)不受損害,，延長分析系統(tǒng)的使用壽命,；

ü     儀器采用進(jìn)口傳感器，利用紅外檢測技術(shù),。檢測精度高,，穩(wěn)定性能好。

ü     采樣探頭采用目前優(yōu)良的內(nèi),、外脈沖式振動反吹技術(shù),，*的快速拆卸設(shè)計(jì)使得維修方便，維護(hù)工作量很小,。