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CEMS煙氣氣體分析系統(tǒng)針對(duì)多晶硅工藝的具體情況，進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)和合理配置,。

在太陽(yáng)能多晶硅工藝中廢氣產(chǎn)生:

酸霧引入凈化塔采用堿液噴淋處理,，尾氣由15m高排氣筒排入大氣。廢氣排放量15000m³/h,， NO₂產(chǎn)生濃度為50-70mg/m³,，經(jīng)堿液噴淋吸收，排放速率0.018kg/h,，NO₂排放濃度為15-20mg/m³,。

產(chǎn)生的S_iC粉塵，采用旋風(fēng)+高效濾筒除塵器處理,，廢氣由15高排氣筒排放,，粉塵排放濃度低于30mg/m³，排放速率0.027kg/h,，

ü     針對(duì)工藝中粉塵,，設(shè)計(jì)了三級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)，并配置加熱反吹式過(guò)濾探頭,，確保氣體分析儀能夠穩(wěn)定工作,，測(cè)量精確；

ü     工藝中會(huì)產(chǎn)生水氣,，這對(duì)分析儀的檢測(cè)帶來(lái)很大影響,，采用大容量減壓過(guò)濾器和冷阱捕水技術(shù)相結(jié)合，除去樣氣中的水,，保證分析儀的檢測(cè)過(guò)程順利進(jìn)行,；

ü     全部采樣管道采用耐腐蝕的聚四氟乙烯管，使工藝中產(chǎn)生的大量的SO2和NOx,，等腐蝕性氣體既能得到精確的檢測(cè),，同時(shí)保護(hù)整個(gè)分析系統(tǒng)不受損害，延長(zhǎng)分析系統(tǒng)的使用壽命,；

ü     儀器采用進(jìn)口傳感器,，利用紅外檢測(cè)技術(shù)。檢測(cè)精度高,，穩(wěn)定性能好,。

ü     采樣探頭采用目前優(yōu)良的內(nèi)、外脈沖式振動(dòng)反吹技術(shù),，*的快速拆卸設(shè)計(jì)使得維修方便,，維護(hù)工作量很小,。