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真空泵的選型

時間:2011-7-4閱讀:609
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真空泵的選型
發(fā)布日期:2007-8-28            瀏覽數(shù):1653
1,、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求,。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。
            
     2、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強范圍,,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內(nèi),,泵的抽速隨壓強而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,,但其工作壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。
            
     3、真空泵在其工作壓強下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
            
     4、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,,需要預(yù)真空,;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用,。
            
     5、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達到清潔真空要求,。
            
     6、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無顆粒灰塵,,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,,需要知道氣體成分,,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器,、除塵器等。
            
     7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。
            
     8,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。
            
     9、真空泵的價格,、運轉(zhuǎn)及維修費用,。
            
     水環(huán)式真空泵的選擇
            
     一、泵類型的確定
            
     泵的類型主要由工作所需的氣量,、真空度或排氣壓力而定,。
            
     泵工作時,需要注意以下兩個方面:
            
     1.盡可能要求在區(qū)內(nèi),,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行,。
            
     2.應(yīng)避免在zui大真空度或zui大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行,,不僅效率極低,,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動和噪音,。對于真空度較高的真空泵而言,,在此區(qū)域之內(nèi)運行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動,。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞,,以致泵無法工作,。
            
     根據(jù)以上原則,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時,,可優(yōu)先在單級泵中選取,。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,,或者,,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,,可選用兩級泵,。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置,。
            
     如果只作真空泵用,,則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構(gòu)造簡單,,容易制造和維護,,且在高真空情況下抗汽蝕性好,。
            
     如果僅作較大氣量的壓縮機使用,則選用雙作用的泵比較合適,。因為雙作用泵的氣量大,,體積小,重量輕,,徑向力能得到自動平衡,,軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,泵的使用壽命較長,。

     二,、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

     初步選定了泵的類型之后,對于真空泵,,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號,。
 

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