X熒光光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),,激發(fā)被測樣品,,產(chǎn)生X熒光(二次X射線),探測器對X熒光進行檢測,。
受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后,儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強度,,可以測定元素含量。
近年來,,X熒光光譜分析在各行業(yè)應用范圍不斷拓展,,已成為一種廣泛應用于冶金、地質(zhì),、有色,、建材,、商檢、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個領域,,特別是在RoHS檢測領域應用得多也廣泛。
大多數(shù)分析元素均可用其進行分析,,可分析固體,、粉末、熔珠,、液體等樣品,,分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快,、測量范圍寬,、干擾小的特點。

X熒光光譜儀的優(yōu)點:
1,、分析速度快,。測定用時與測定精密度有關,但一般都很短,,10~300秒就可以測完樣品中的全部待測元素,。
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態(tài)無關,,而且跟固體,、粉末、液體及晶質(zhì),、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關系,。但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi),,這種效應更為顯著,。波長變化用于化學位的測定。
3,、非破壞分析,。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變,也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象,。同一試樣可反復多次測量,,結果重現(xiàn)性好。
4,、X射線熒光分析是一種物理分析方法,,所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。
5,、分析精密度高,。目前含量測定已經(jīng)達到ppm級別,。
6、制樣簡單,,固體,、粉末、液體樣品等都可以進行分析,。