X熒光光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成,。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),,激發(fā)被測樣品,產(chǎn)生X熒光(二次X射線),,探測器對X熒光進(jìn)行檢測,。
受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后,儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度,,可以測定元素含量。
近年來,,X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展,,已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì),、有色,、建材、商檢,、環(huán)保,、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域,,特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得多也廣泛。
大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析,,可分析固體,、粉末、熔珠,、液體等樣品,,分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快,、測量范圍寬,、干擾小的特點。

X熒光光譜儀的優(yōu)點:
1,、分析速度快,。測定用時與測定精密度有關(guān),但一般都很短,,10~300秒就可以測完樣品中的全部待測元素,。
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān),,而且跟固體,、粉末、液體及晶質(zhì),、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系,。但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi),,這種效應(yīng)更為顯著,。波長變化用于化學(xué)位的測定。
3,、非破壞分析,。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變,也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象,。同一試樣可反復(fù)多次測量,,結(jié)果重現(xiàn)性好。
4,、X射線熒光分析是一種物理分析方法,,所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
5,、分析精密度高,。目前含量測定已經(jīng)達(dá)到ppm級別。
6,、制樣簡單,,固體,、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析,。