X射線熒光光譜儀(XRF)是一種較新型可以對(duì)多元素進(jìn)行快速同時(shí)測(cè)定的儀器,。XRF工作原理是X射線光管發(fā)出的初級(jí)X射線照射樣品,，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā),，當(dāng)外層電子躍遷時(shí)產(chǎn)生特征X射線,，通過分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線波長(zhǎng)（或能量）和強(qiáng)度,，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息,，達(dá)到定性定量分析的目的,。

按分光方式分類，XRF可分為波長(zhǎng)色散型X射線熒光光譜儀（以下簡(jiǎn)稱WD-XRF）和能量色散型X射線熒光光譜儀（以下簡(jiǎn)稱ED-XRF）,。

波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF),，一般由光源(X-射線管)、樣品室、分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成,。為了準(zhǔn)確測(cè)量衍射光束與入射光束的夾角,，分光晶體是安裝在一個(gè)精密的測(cè)角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置,。由于晶體的衍射,，造成強(qiáng)度的損失，需要作為光源的X射線管的功率要大,，一般為2～3千瓦,。但X射線管的效率極低，只有1%的電功率轉(zhuǎn)化為X射線輻射功率,，大部分電能均轉(zhuǎn)化為熱能產(chǎn)生高溫,，所以X射線管需要專門的冷卻裝置(水冷或油冷)，這就使得儀器結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,，硬件成本高,，因此波譜儀的價(jià)格比能譜儀要高的多。

能量色散型X-熒光光譜儀(ED-XRF),，一般由光源(X-射線管),、濾光片、樣品室和檢測(cè)系統(tǒng)等組成,，與波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀(WD-XRF)的區(qū)別在于它不用分光晶體,，機(jī)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，價(jià)位比較低,，但輕元素的檢出限較高,。

總結(jié)來說，ED-XRF儀器結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單,，而WD-XRF較為復(fù)雜,。就定性分析而言，當(dāng)樣品中需要快速定性或半定量分析多個(gè)元素或未知樣品時(shí),，ED-XRF較為方便,；當(dāng)樣品中所分析元素含量較低時(shí)，WD-XRF更適合,。另外,，對(duì)形狀不規(guī)則或易受放射性損傷的樣品，如液體（易揮發(fā)）,，有機(jī)物（可能發(fā)生輻射分解），工藝品（可能發(fā)生褪色）等,，以及動(dòng)態(tài)系統(tǒng),，如在催化，腐蝕，老化,，磨損,，改性和能量轉(zhuǎn)換等與表面化學(xué)過程有關(guān)的研究，采用ED-XRF分析更加有利,。