氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,,分子量及粘滯系數(shù)小,,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,,不腐蝕設(shè)備,,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的作狀態(tài))的被檢容器上,,若容器有漏孔,,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。
氦質(zhì)譜檢漏方法
氦質(zhì)譜檢漏是真空檢漏域里*的種,,由于檢漏效率,簡(jiǎn)便易操作,,儀器反應(yīng)靈敏,,度,不易受其他氣體的干擾,,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用,。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器,。由離子源,、分析器、收集器,、冷陰電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),,形成圓弧形軌道,,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收而被檢測(cè)。噴氦法,、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中zui常用的兩種方法,。