皮拉尼電阻真空計是種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計組成,,用于測量低真空,。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。
儀器采用真空規(guī)管作為傳感器,。穩(wěn)定性好,,不易損壞。
儀器采用微處理機成測量數(shù)據(jù)的采集和處理,。具有自動非線性參數(shù)修正和誤差補償能,,并采用了光電隔離、數(shù)字濾波,、防電壓沖擊等術,,提了測量度及抗干擾能力,特別對于電子束,、離子束以及弧放電等強干擾源都有非凡的抗干擾能力,。
每臺真空計均設置有兩組繼電器輸出接口,用來實現(xiàn)真空度定值點和區(qū)域的控制,。定值點及區(qū)域可方便自由設定,。本儀器通過觸摸開關輸入的預置參數(shù)掉電后可保存,該儀器控制面板更人性化,,操作更方便,,開電源即可作。本機線路設計合理,,制作藝考究,,采用了整板設計,波峰焊接,。其軟件編排*,,算法,使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠,。
. 主要術標
1. 測量與控制范圍:1.0×105~1.0×10-1Pa
2. 測量誤差:(P-P0)/P0≤±15% (2.0×103Pa~1.0×100Pa)
3. 配用規(guī)管:連接管外徑15±0.5mm或法蘭盤接口
4. 采樣時間:1S
5. 模擬輸出信號:0~5V(可選)
6. 控制繼電器觸點容量:2A / AC220V
7. 供電:AC50Hz 220V±10% / 15W
8. 使用環(huán)境:溫度-5~40℃ 濕度≤90%
9. 面板尺寸:116×96mm
10. 機箱尺寸:91(寬)×118深)×91()
二. 使用方法
1,、開機準備
將電源開關置于“關"的位置,用規(guī)管電纜將電阻規(guī)與本機對應連接好,,用電源線將電源插座和本機電源座連接,。繼電器開關量信號輸出座與被控制的執(zhí)行設備用電纜線對應接好,儀器背板上的“J1"、“J2"兩個繼電器輸出座各有組開觸點和常閉觸點,,供用戶自行選擇使用,。
2、開機
接通電源,,儀器顯示“P"約3秒(預熱)后入測量狀態(tài)。
儀器采用以10(用E表示)為底的數(shù),,表示單位為Pa的氣體壓力值(真空度),。“E"前兩位為系數(shù),,后兩位是正負數(shù),。
3、電阻真空計的零點和滿度調校:
請定按照以下調零點,,后調滿度的秩序行,。
a.調零點
當確定真空系統(tǒng)的真空度在1.0×10-1Pa以上時,作5分鐘后,,按儀器面板(▲)(▼) ((▲)增加數(shù)值,,(▼)減少數(shù)值)使儀器顯示“1.0E-1"(1.0×10-1Pa),零點調校作即告成,。
b.調滿度
成了調零點的作,,將被測系統(tǒng)放大氣后,讓儀器作5分鐘,,按下(ATM)鍵,,并保持,顯示值由原數(shù)值變?yōu)椤?.0E5"(1.0×105Pa),,松開按鍵,,此時滿度調校成。
旦調節(jié)好零點和滿度,,以后就不再調,,只有更換規(guī)管時才需要調節(jié)。在調零點將系統(tǒng)放大氣后,,即使儀器已經顯示“1.0E5"(1.0×105Pa),仍然需要執(zhí)行調滿度的步驟,。
注意:本機在出廠前已經調好零點,不需調試 ,,由于各地氣壓不同只要調下滿度即可,,也可以不調。注意規(guī)管號與相應儀器配合使用即可,。
4,、控制點和控制區(qū)域設置
真空度用氣體的壓力值表示,本機使用的壓力單位是帕(Pa),真空度越,,壓力值越低,。區(qū)域真空的區(qū)域,上限區(qū)域真空度的端(也就是氣壓值小的端),,下限區(qū)域真空度低的端(也就是氣壓值大的端),。
打開本機電源,在窗口顯示“P"的3秒內,,按下面板上的“能(Fun)鍵,,入設置狀態(tài),窗口顯示1路控制的真空區(qū)域上限符號“1_",,再按下(Fun)鍵,,顯示過去設置的真空度上限壓力值,其系數(shù)的整數(shù)位閃爍,,按(SET)鍵,,在“0~9"中間選定要置入的上限壓力值系數(shù)的整數(shù)位,再按(Fun)鍵,,使系數(shù)的小數(shù)位閃爍,,再按(Set)鍵選定小數(shù)位,同樣的方法可設定壓力值數(shù)的正負號和數(shù)字位,。
設置控制區(qū)域上限的壓力值,,再按(Fun)鍵,顯示1路控制的區(qū)域下限符號:“1-",,用與設置上限壓力值相同的方法,,可以設定下限的壓力值。
設置成1路控制的真空度區(qū)域上,、下限壓力值后,,再按“能(Fun)鍵,顯示2路控制區(qū)域的上限符號:“2-",,與設置1路控制區(qū)域上,、下限壓力值的方法相同,可設定2路控制的區(qū)域上,、下限壓力值,。
如果需要設置控制點,只需將該路控制的區(qū)域上下限壓力值均設為所需控制點的壓力值,。
注意設置作成后,,定要關機保存所置入的數(shù)據(jù),直到下次修改,。如果不關機,,儀器不會從設置狀態(tài)自動返回測量狀態(tài),。5、控制繼電器的作方式
各路控制繼電器的作方式是:當被測系統(tǒng)的真空度上升至該路控制區(qū)域上*繼電器吸合,,當被測系統(tǒng)的真空度下降至該路控制區(qū)域下*繼電器釋放,。對應儀器輸出的兩路繼電器控制,在面板上有J1,、J2,、兩個示燈,其作狀態(tài)是:當某路繼電器動作時,,對應的示燈亮,,復位時,示燈滅,。
皮拉尼電阻真空計