皮拉尼電阻真空計(jì)是種低真空測(cè)量?jī)x器,。該儀器由定溫式電阻真空計(jì)組成,，用于測(cè)量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa,。
儀器采用真空規(guī)管作為傳感器,。穩(wěn)定性好，不易損壞,。
儀器采用微處理機(jī)成測(cè)量數(shù)據(jù)的采集和處理,。具有自動(dòng)非線性參數(shù)修正和誤差補(bǔ)償能，并采用了光電隔離,、數(shù)字濾波,、防電壓沖擊等術(shù)，提了測(cè)量度及抗干擾能力,，特別對(duì)于電子束,、離子束以及弧放電等強(qiáng)干擾源都有非凡的抗干擾能力。
每臺(tái)真空計(jì)均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口,，用來(lái)實(shí)現(xiàn)真空度定值點(diǎn)和區(qū)域的控制,。定值點(diǎn)及區(qū)域可方便自由設(shè)定。本儀器通過(guò)觸摸開關(guān)輸入的預(yù)置參數(shù)掉電后可保存,，該儀器控制面板更人性化,，操作更方便，開電源即可作,。本機(jī)線路設(shè)計(jì)合理,，制作藝考究，采用了整板設(shè)計(jì),，波峰焊接,。其軟件編排*，算法,，使儀器的測(cè)量與控制穩(wěn)定可靠,。
． 主要術(shù)標(biāo)
1. 測(cè)量與控制范圍：1.0×105~1.0×10-1Pa
2. 測(cè)量誤差：（P-P0）/P0≤±15% （2.0×103Pa~1.0×100Pa）
3. 配用規(guī)管：連接管外徑15±0.5mm或法蘭盤接口
4. 采樣時(shí)間：1S
5. 模擬輸出信號(hào)：0~5V（可選）
6. 控制繼電器觸點(diǎn)容量：2A / AC220V
7. 供電：AC50Hz 220V±10% / 15W
8. 使用環(huán)境：溫度-5~40℃ 濕度≤90%
9. 面板尺寸：116×96mm
10. 機(jī)箱尺寸：91（寬）×118深）×91（）
二． 使用方法
1、開機(jī)準(zhǔn)備
將電源開關(guān)置于“關(guān)"的位置,，用規(guī)管電纜將電阻規(guī)與本機(jī)對(duì)應(yīng)連接好,，用電源線將電源插座和本機(jī)電源座連接。繼電器開關(guān)量信號(hào)輸出座與被控制的執(zhí)行設(shè)備用電纜線對(duì)應(yīng)接好,，儀器背板上的“J1",、“J2"兩個(gè)繼電器輸出座各有組開觸點(diǎn)和常閉觸點(diǎn)，供用戶自行選擇使用,。
2,、開機(jī)
接通電源，儀器顯示“P"約3秒（預(yù)熱）后入測(cè)量狀態(tài)。
儀器采用以10（用E表示）為底的數(shù),，表示單位為Pa的氣體壓力值（真空度）,。“E"前兩位為系數(shù),，后兩位是正負(fù)數(shù),。
3、電阻真空計(jì)的零點(diǎn)和滿度調(diào)校：
請(qǐng)定按照以下調(diào)零點(diǎn),，后調(diào)滿度的秩序行,。
a.調(diào)零點(diǎn)
當(dāng)確定真空系統(tǒng)的真空度在1.0×10-1Pa以上時(shí)，作5分鐘后,，按儀器面板（▲）（▼） （（▲）增加數(shù)值,，（▼）減少數(shù)值）使儀器顯示“1.0E-1"（1.0×10-1Pa），零點(diǎn)調(diào)校作即告成,。
b.調(diào)滿度
成了調(diào)零點(diǎn)的作,，將被測(cè)系統(tǒng)放大氣后，讓儀器作5分鐘,，按下（ATM）鍵,，并保持，顯示值由原數(shù)值變?yōu)椤?.0E5"（1.0×105Pa）,，松開按鍵，此時(shí)滿度調(diào)校成,。
旦調(diào)節(jié)好零點(diǎn)和滿度,，以后就不再調(diào)，只有更換規(guī)管時(shí)才需要調(diào)節(jié),。在調(diào)零點(diǎn)將系統(tǒng)放大氣后,，即使儀器已經(jīng)顯示“1.0E5"（1.0×105Pa）,仍然需要執(zhí)行調(diào)滿度的步驟。
注意：本機(jī)在出廠前已經(jīng)調(diào)好零點(diǎn),，不需調(diào)試 ,，由于各地氣壓不同只要調(diào)下滿度即可，也可以不調(diào),。注意規(guī)管號(hào)與相應(yīng)儀器配合使用即可,。
4、控制點(diǎn)和控制區(qū)域設(shè)置
真空度用氣體的壓力值表示,，本機(jī)使用的壓力單位是帕(Pa),，真空度越，壓力值越低,。區(qū)域真空的區(qū)域,，上限區(qū)域真空度的端（也就是氣壓值小的端），下限區(qū)域真空度低的端（也就是氣壓值大的端）。
打開本機(jī)電源,，在窗口顯示“P"的3秒內(nèi),，按下面板上的“能（Fun）鍵，入設(shè)置狀態(tài),，窗口顯示1路控制的真空區(qū)域上限符號(hào)“1_",，再按下（Fun）鍵，顯示過(guò)去設(shè)置的真空度上限壓力值,，其系數(shù)的整數(shù)位閃爍,，按（SET）鍵，在“0~9"中間選定要置入的上限壓力值系數(shù)的整數(shù)位,，再按（Fun）鍵,，使系數(shù)的小數(shù)位閃爍，再按（Set）鍵選定小數(shù)位,，同樣的方法可設(shè)定壓力值數(shù)的正負(fù)號(hào)和數(shù)字位,。
設(shè)置控制區(qū)域上限的壓力值，再按（Fun）鍵,，顯示1路控制的區(qū)域下限符號(hào)：“1-",，用與設(shè)置上限壓力值相同的方法，可以設(shè)定下限的壓力值,。
設(shè)置成1路控制的真空度區(qū)域上,、下限壓力值后，再按“能（Fun）鍵,，顯示2路控制區(qū)域的上限符號(hào)：“2-",，與設(shè)置1路控制區(qū)域上、下限壓力值的方法相同,，可設(shè)定2路控制的區(qū)域上,、下限壓力值。
如果需要設(shè)置控制點(diǎn),，只需將該路控制的區(qū)域上下限壓力值均設(shè)為所需控制點(diǎn)的壓力值,。
注意設(shè)置作成后，定要關(guān)機(jī)保存所置入的數(shù)據(jù),，直到下次修改,。如果不關(guān)機(jī)，儀器不會(huì)從設(shè)置狀態(tài)自動(dòng)返回測(cè)量狀態(tài),。5,、控制繼電器的作方式
各路控制繼電器的作方式是：當(dāng)被測(cè)系統(tǒng)的真空度上升至該路控制區(qū)域上*繼電器吸合，當(dāng)被測(cè)系統(tǒng)的真空度下降至該路控制區(qū)域下*繼電器釋放,。對(duì)應(yīng)儀器輸出的兩路繼電器控制,，在面板上有J1,、J2、兩個(gè)示燈,，其作狀態(tài)是：當(dāng)某路繼電器動(dòng)作時(shí),，對(duì)應(yīng)的示燈亮，復(fù)位時(shí),，示燈滅,。
皮拉尼電阻真空計(jì)
