雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。利用電探針,、電壓探針的變換,,行兩次電測量,,對數(shù)據(jù)行雙電測分析,,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,,它與單電測直線或方形四探針相比,,大大提度,別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。
儀器成套組成:由主機(jī),、選配的四探針探頭、測試臺(tái)以及PC軟件等分組成,。
主機(jī)主要由恒源,、分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,,USB通訊接口,。儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定,、能轉(zhuǎn)換采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入;具有零位,、滿度自校能,;測試能可自動(dòng)/手動(dòng)方式;儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作成,,也可脫PC機(jī)由四探針儀器面板上立操作成,。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示,也可連機(jī)由軟件界面同步顯示,、分析,、保存和打印,!
探頭選配:根據(jù)不同材料性需要,,探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭,,以測試硅類半導(dǎo)體,、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻,;也有形鍍金銅合金探針探頭,,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜,、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻,。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻,、金屬導(dǎo)體的低,、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻行測量。
測試臺(tái)選配:般四探針法測試電阻率/方阻配DP-A或DP-B或DP-C或DP-F型測試臺(tái),。
詳見《四探針儀器,、探頭和測試臺(tái)的點(diǎn)與選型參考》
儀器具有測量度、靈敏度,、穩(wěn)定性好,、智能化程度、測量簡便,、結(jié)構(gòu)緊湊,、使用方便等點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠,、科研單位,、等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體,、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試,,別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。