四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號:MHY-7795
MHY-7795型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,,用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
儀器由主機(jī),、測試臺,、四探針探頭、計算機(jī)等分組成,,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,,亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析,然后以表格,,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
儀器采用了電子行、裝配,。具有能選擇直觀,、測量取數(shù)快、度,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等點,。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠,、科研單位,、等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
術(shù) 標(biāo) :
測量范圍 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展),;
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展),;
電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm;
電阻:10-5~105 Ω,;
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺),;
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺),;
恒源 電量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA、100mA六檔,,各檔電連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV,;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ,;
度:±0.1% ,;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性,、量程自動顯示,;
四探針探頭基本標(biāo) 間距:1±0.01mm;
針間緣電阻:≥1000MΩ,;
機(jī)械游移率:≤0.3%,;
探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力),;
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87行) 0.01Ω,、0.1Ω、1Ω,、10Ω,、100Ω、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字
整機(jī)測量zui大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計算機(jī)通訊接口 并口,,速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒(在 0.1mA,、1mA,、10mA、100mA量程檔時),。連接電腦使用時帶自動測量 能,,自動選擇適合樣品測試電量程;
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃,;
相對濕度:≤65%,;
無頻干擾;
無強(qiáng)光直射,;
配置 四探針測試儀主機(jī),、探針臺、四探針探頭,、