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型號

參數(shù)

SEM basic

SNE-4500M

分辨率：5nm,，放大倍數(shù)：100,000倍,，探測器：二次電子（SE），電壓：1到30kv,，樣品臺：X,Y,R,Z,T五軸/手動控制,，真空：高

含

臺式電腦（或筆記本電腦）/因特爾處理器，硬盤：500GB,，RAM緩存:4GB

顯示器（21.5英寸）

機械泵（裝配,；軟管）；SEM備用零件（燈絲,，試件臺,，夾具,，扳手……）Cable; Connecting 連接電纜

SEM   Additional accessories

背散射探測器，類型：固態(tài)4通道

自動軸控制

-Type:   X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);類型：X,Y,R(3軸)/DC型(標(biāo)配)

EDS   System  EDS系統(tǒng)

element

分辨率：129   電子伏 / 元素范圍：從B 到Am, 反應(yīng)區(qū)域：25mm2, C系列Si3N4窗口,，軟件：TEAM（頻譜分析,，圖像，多點,，線掃描,，數(shù)據(jù)記錄）

電子光學(xué)系統(tǒng)

分辨率

5nm (30kV, 二次電子成像)

放大倍率

20x~100,000x

加速電壓

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探測器

二次電子探測器（SE）

電子槍

預(yù)對中鎢燈絲

載臺系統(tǒng)

載臺運動

5軸系統(tǒng) (X, Y, R, Z, T -手動)

X, Y-軸: 40mm / R-軸: 360°

Z-軸: 0~35mm / Tilt-軸 : 0~45°

* 影像偏移 : ±150μm

大樣品尺寸

80mm（Φ）*35mm（H）

成像系統(tǒng)

自動功能

自動啟動，自動聚焦,，自動消像散,，自動調(diào)節(jié)對比與亮度

圖像格式

BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系統(tǒng)

真空模式

高真空（低真空可選）

真空泵

旋轉(zhuǎn)式機械泵/渦輪式分子泵（全自動）

尺寸與重量

主機

390(W)x380(D)x560(H)mm, 88kg

控制單元

390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg

旋轉(zhuǎn)泵

400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg

晶圓 (SE/10 kV/30,000x)   

氮化鎵(SE/15 kV/10,000x)

  二氧化硅（SE/20 kV/30,000x）   

氧化鋅（SE/5 kV/15,000x）