臺式掃描電鏡是針對臺式電鏡設(shè)計的,，本著臺式電鏡簡單易用,，系統(tǒng)*嵌入在電鏡主機中,，利用半導(dǎo)體制冷，無需額外冷卻系統(tǒng),，采用低真空技術(shù),，出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子與樣品表面累積的 電子中和,，有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生,，直接觀測各種不導(dǎo)電樣品。
臺式掃描電鏡利用降低荷電效應(yīng)樣品杯,，更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右,，而且不會影響燈絲壽命，環(huán)境適應(yīng)性高,，*防震,，可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中，無需超凈間,，采用燈絲,、探測器、樣品 臺相對一體化的設(shè)計,，震動不會引起三者間的相對運動,，使成像不受震動影響，可放置在較高樓層,。
臺式掃描電鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng),，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)，以下提到掃描電子顯微鏡之處,，均用SEM代替,。 臺式掃描電鏡是一種大型精密儀器，它是機械學(xué),、光學(xué),、電子學(xué)、熱學(xué),、材料學(xué),、真空技術(shù)等多門學(xué)科的綜合應(yīng)用。
臺式掃描電鏡真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分,，真空柱是一個密封的柱形容器,，真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。
有機械泵,、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類,，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置真空要 求，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合,。
臺式掃描電鏡成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中,，真空柱底端即為密封室,，用于放置樣品。
之所以要用真空,，主要基于以下兩點原因：臺式掃描電鏡電子束系統(tǒng)中的燈絲 在普通大氣中會迅速氧化而失效,，所以除了在使用SEM時需要用真空以外，平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱,。為了增大電子的平均自由程,，從而使得用于成像的電子更多。
