臺(tái)式掃描電鏡是一種體積小巧,，可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作的電子顯微鏡,。其原理和傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡相同。部件包括:電子發(fā)射,、電磁透鏡,、信號(hào)探測(cè)、真空系統(tǒng),、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡相比，臺(tái)式掃描電鏡具有體積小巧,、操作簡(jiǎn)便,、價(jià)格便宜、快速抽真空等優(yōu)勢(shì),，臺(tái)式掃描電子顯微鏡分辨力能滿足多數(shù)材料的顯微觀察,。
臺(tái)式掃描電鏡填補(bǔ)光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的分辨率空白區(qū)域,，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒,、生物醫(yī)學(xué),、食品藥品、紡織纖維,、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域,。
隨著科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)進(jìn)入了納米領(lǐng)域，人們對(duì)顯微技術(shù),、顯微儀器的要求越來(lái)越高,，需求也日益增長(zhǎng)。
光學(xué)顯微鏡價(jià)格便宜,，操作簡(jiǎn)單,，但由于可見(jiàn)光波長(zhǎng)的限制，其放大倍數(shù)只能達(dá)到1000倍左右;傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數(shù)可以達(dá)到數(shù)萬(wàn)倍,，具有大景深,，是當(dāng)前材料科學(xué)、生物科學(xué)領(lǐng)域常用的表征手段之一,，但其投資巨大,，而且需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格培訓(xùn)的操作人員，使用不便,。
臺(tái)式掃描電鏡結(jié)合光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn),。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數(shù)和大景深，同時(shí)體積小,、操作簡(jiǎn)便,，價(jià)格僅為傳統(tǒng)電鏡的幾分之一，逼近光學(xué)顯微鏡,。臺(tái)式掃描電子顯微鏡操作方便,、維護(hù)簡(jiǎn)單等特點(diǎn)被認(rèn)可。
下面讓我們來(lái)了解一下臺(tái)式掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成吧
真空系統(tǒng):二級(jí)真空系統(tǒng),，一般采用機(jī)械泵加渦輪分子泵組成,，電子槍部位真空度10-4Pa，樣品倉(cāng)真空度可達(dá)數(shù)十帕
電子槍:電子槍的作用是發(fā)射出作為電鏡照明用的電子源,。種類(lèi)有:鎢陰極電子槍,、氧化物陰極、硼化物陰極(六硼化鑭應(yīng)用多),、場(chǎng)發(fā)射陰極
電磁透鏡:電場(chǎng)和磁場(chǎng)都可以使電子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)，從而使電子束產(chǎn)生匯聚和發(fā)散
探測(cè)器:背散射電子探測(cè)器或二次電子探測(cè)器
