掃描電子顯微鏡的電子束不穿過(guò)樣品，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方,，然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導(dǎo)致樣本表面被激發(fā)出次級(jí)電子,。顯微鏡觀察的是這些每個(gè)點(diǎn)散射出來(lái)的電子,，放在樣品旁的閃爍晶體接收這些次級(jí)電子，通過(guò)放大后調(diào)制顯像管的電子束強(qiáng)度,，從而改變顯像管熒光屏上的亮度,。圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu),。顯像管的偏轉(zhuǎn)線圈與樣品表面上的電子束保持同步掃描,，這樣顯像管的熒光屏就顯示出樣品表面的形貌圖像，這與工業(yè)電視機(jī)的工作原理相類(lèi)似,。由于這樣的顯微鏡中電子不必透射樣本,，因此其電子加速的電壓不必非常高,。

掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比,，可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬(wàn)倍,。掃描式電子顯微鏡不需要很薄的樣品；圖像有很強(qiáng)的立體感,；能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級(jí)電子,、吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分。

掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線,、背散射電子、透射電子,，以及在可見(jiàn),、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時(shí),，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)（聲子）,、電子振蕩（等離子體）,。

掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)介紹

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