你知道掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)是什么嗎,？下面就讓我們一起來(lái)了解一下吧,。
掃描電鏡主要有真空系統(tǒng),，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。
1,、真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分,。
真空柱是一個(gè)密封的柱形容器,。
真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空,。有機(jī)械泵,、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢槍的掃描電鏡的真空要求，但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭槍的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中,。真空柱底端即為右圖所示的密封室,，用于放置樣品,。之所以要用真空,，主要基于以下兩點(diǎn)原因:電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效，所以除了在使用掃描電鏡時(shí)需要用真空以外,，平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。
為了增大電子的平均自由程,，從而使得用于成象的電子更多,。
2,、電子束系統(tǒng)
電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡兩部分組成,，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的,、電子能量確定的電子束用以掃描成象,。
電子槍:用于產(chǎn)生電子,，主要有兩大類，共三種,。一類是利用場(chǎng)致發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子,，稱為場(chǎng)致發(fā)射電子槍,。這種電子槍極其昂貴，在十萬(wàn)美元以上,，且需要小于10-10torr的*真空,。但它具有至少1000小時(shí)以上的壽命，且不需要電磁透鏡系統(tǒng),。另一類則是利用熱發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子,，有鎢槍和六硼化鑭槍兩種。鎢槍壽命在30~100小時(shí)之間,，價(jià)格便宜,，但成象不如其他兩種明亮，常作為廉價(jià)或標(biāo)準(zhǔn)掃描電鏡配置,。六硼化鑭槍壽命介于場(chǎng)致發(fā)射電子槍與鎢槍之間,，為200~1000小時(shí)，價(jià)格約為鎢槍的十倍,，圖像比鎢槍明亮5~10倍,，需要略高于鎢槍的真空，一般在10-7torr以上;但比鎢槍容易產(chǎn)生過(guò)度飽和和熱激發(fā)問(wèn)題。
電磁透鏡:熱發(fā)射電子需要電磁透鏡來(lái)成束,，所以在用熱發(fā)射電子槍的掃描電鏡上,，電磁透鏡*。通常會(huì)裝配兩組:
匯聚透鏡:顧名思義,，匯聚透鏡用匯聚電子束,，裝配在真空柱中，位于電子槍之下,。通常不止一個(gè),，并有一組匯聚光圈與之相配。但匯聚透鏡僅僅用于匯聚電子束,，與成象會(huì)焦無(wú)關(guān),。
物鏡:物鏡為真空柱中下方的一個(gè)電磁透鏡，它負(fù)責(zé)將電子束的焦點(diǎn)匯聚到樣品表面,。
3,、成像系統(tǒng)
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用,，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子,、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號(hào),。所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器,、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線信號(hào)不能用于成象,，但習(xí)慣上,，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測(cè)器造價(jià)昂貴,，比如Robinsons式背散射電子探測(cè)器,，這時(shí)，可以使用次級(jí)電子探測(cè)器代替,，但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除次級(jí)電子
