看完本篇你就知道什么是RTP快速退火爐了

閱讀：8062發(fā)布時間：2021-7-23

　　RTP快速退火爐近年來得到越來越廣泛的應用?？捎糜诠杓捌渌衔锊牧想x子注入后的退火,，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化,，快速氮化等方面,。

　　該設備具有很好的長時間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫，慢速升降溫功能,，采用三回路閉環(huán)溫度控制,，精確的溫度控制部件可適用于特殊工藝要求，工藝重復性高，也可用于鐵電膜的制備以及各種半導體材料CVD的熱處理,。

　　RTP快速退火爐主要用于：快速燒結,、快速退火等工藝。具有：溫度均勻,、控制穩(wěn)定等特點,，觸摸屏操作方式(設備小巧，節(jié)約空間),。

　　快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),，由我公司借鑒了制造工藝，在管式爐的基礎上自主研發(fā)而成,。

　　這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S,，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S,。我們的工程師們巧妙的設計工藝使得冷卻氣體直接對著樣品直吹,，以至于達到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫!

　　此款設備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO(All In One)控制系統(tǒng),，實現(xiàn)了爐膛自動左右移動,，爐膛在左側加熱到設定溫度后，直接移動到右側樣品區(qū)域,，實現(xiàn)樣品快速升溫,，樣品加熱到設定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區(qū),，實現(xiàn)樣品的快速降溫,。

　　成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協(xié)調(diào)控制,，而且還能自動平衡爐管內(nèi)的壓力大小,，真正實現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠,。

　　功能舉例：樣品加熱到1000℃后,，爐膛自動移開加熱區(qū)，冷卻氣體自動打開直吹樣品表面實現(xiàn)極速降溫,，樣品溫度降到70℃時自動關閉冷卻氣體,。

　　然后爐膛移動到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復,，往復次數(shù)可用戶自定義,。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設定溫度自動開啟和關閉。

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性,、準確性和合法性由相關企業(yè)負責,，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風險,，建議您在購買產(chǎn)品前務必確認供應商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量,。

在線留言