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快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域和使用條件介紹
閱讀：5647發(fā)布時(shí)間：2019-4-24
快速退火爐具有升溫速度快、密封好,、溫度范圍寬,、實(shí)驗(yàn)方便等特點(diǎn)。
真空快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域：
- 離子注入/接觸退火,；
- 快速熱處理(RTP),，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO),，快速熱氮化(RTN),；
- 可在真空、惰性氣氛,、氧氣,、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用,；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化,；
- 低介電材料；
- 晶體化,，致密化,；
- 太陽(yáng)能電池片鍵合
快速退火爐適用于下列工作條件：
（1）環(huán)境溫度在-10～75℃之間。
（2）周圍環(huán)境的相對(duì)濕度不超過(guò)85%,。
（3）爐子周圍沒有導(dǎo)電塵埃,，爆炸性氣體及嚴(yán)重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
（4）沒有明顯的傾斜﹑振動(dòng)和顛簸,。
天津中環(huán)電爐股份有限公司主營(yíng)產(chǎn)品：氣氛管式爐,，高溫箱式電爐，高溫鐘罩爐
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