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照度計UV351有很多的特點,如可以控制曝光設(shè)備,、UV傳送帶等的照度和光強,,其非常的小巧,緊湊,、輕量,、薄、方便,,其功能相當于UV-SD35,,可以選擇多個光照強度,進行測量照度測量和峰值照度測量等多種測量模式,。它有一個耐熱的金屬機身,,結(jié)構(gòu)堅固。在測量過程中能夠精準測量出讀數(shù),。
SN型已被長期使用我們曝光設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛使用,,保證了工藝管理的連續(xù)性,。
SD 型用于已經(jīng)使用其他公司制造的照度計的客戶在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程(本公司制造的曝光設(shè)備)現(xiàn)場重視確保與那些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性。 SD型用于投影式曝光設(shè)備和液晶基板周邊曝光設(shè)備),,推薦給使用全新照度計的客戶,。
SN型在與SD型的指示值相同的測量條件下測量我們測量組中用作校準輻射源的高壓UV燈365nm的照度線,以確保舊過程數(shù)據(jù)的兼容性 ,。進行調(diào)整,,使其顯示比顯示時顯示的照度值高 39%:mW/cm
與用于可見光的照度計和光度計(以LUX為單位測量家庭、辦公室,、商店,、博物館等的亮度的照度計和光度計)不同,它適用于所有用于紫外線的照度計和光度計,。尚未設(shè)(似乎正在為少數(shù)有限用途進行 JIS 轉(zhuǎn)換工作),。
每個公司的相對光譜靈敏度從測量的峰值波長(相對光譜靈敏度特性用 1 表示的波長)開始,即使它是為了測量主要由發(fā)射線組成的光源的照度而制作的365nm 短波長側(cè)(300nm~310nm左右)和長波長側(cè)(380nm~400nm左右)的上升,、下降波長及其前后的曲線略有不同,。
此外,雖然在設(shè)計方面正在努力使被稱為COS θ特性的光接收器的光接收角特性更接近理想曲線,,但現(xiàn)實是它尚未實現(xiàn),。
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