Nikon  L200 (表面落射)

尼康金相顯微鏡特點：

 Nikon  L200D (表面落射/ 底部透射)

◆倍率：25×-1500× (明暗場可以選擇)                                                                                                         

◆專配L2-S8 8x8 移動載物臺 (移動范圍200X200mm)

◆8寸晶片 (可加裝專業(yè)的Wafer holder )

◆可以選配專業(yè)偏光(Polarizer)

◆可以選配微分干涉棱鏡 (DIC)

◆可以附加NIKON 專業(yè)數(shù)碼相機(jī)及CCD影像擴(kuò)展

◆可以附加專業(yè)金相測量軟件實現(xiàn)電腦測量                                                                                                      

◆可以選配專業(yè)半導(dǎo)體8寸晶片自動裝載機(jī)配合使用,，提高測試檢查的自動化,。 Nikon 公司提供型號為：Wafer Loader NWL-860   8寸晶片自動裝載機(jī)   (具體規(guī)格參數(shù)請來電垂詢)

擴(kuò)大檢查范圍的反射熒光觀察(L200ND)新

反射照明觀察，除可進(jìn)行明場,、暗場,、微分干涉觀察之外，更可進(jìn)行UV(365nm)激發(fā)的反射熒光觀察,。

對于半導(dǎo)體感光薄膜的殘渣,、有機(jī)EL顯示面板的觀察發(fā)揮了很大的威力。

使用物鏡：CFI LU PLAN FLUOR 10X

 硅片的明場觀察       暗場觀察           微分干涉觀察       反射熒光觀察

反射熒光觀察用的電動水銀光纖光源[INTENSILIGHT](L200ND)

光源采用了預(yù)定心電動水銀光纖光源[INTENSILIGHT],。更換燈泡時不用進(jìn)行燈絲調(diào)心和對焦,。

燈箱可與主機(jī)分離設(shè)置，以降低光源發(fā)熱對顯微鏡的影響,。6段式的調(diào)光機(jī)能和快門機(jī)能,，實現(xiàn)了良好的操作性。

約2000小時超長使用壽命的燈泡大幅降低了使用成本,。

 操作性能提升,、理環(huán)保

比12V100W更亮的高亮度12V50W鹵素?zé)?新

采用了12V50W的[LV-LH50PC預(yù)定心燈箱]，與12V100W相比,，耗電量削減了約一半,，又可達(dá)到與其同等甚至更亮的亮度。

燈絲位置經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計,，且燈箱里有反光鏡,，使照明視場均勻，并提高照明效率,。特別是用到50倍以的高倍物鏡時,，能得到比12V100W亮約20%的觀察圖象。

更環(huán)保,，也能防止因熱量而造成的焦面偏移的干擾,。

抗污染的防靜電涂層 新

主機(jī)、載物臺、鏡筒均涂有消靜電涂層,。為了提高抗污染能力,，防止工件因靜電感應(yīng)而受損,，從而提高成品率,。

可調(diào)節(jié)到*位置進(jìn)行觀察的正立調(diào)傾式三目鏡筒

視場數(shù)25的超大視場，可任意設(shè)定0～30°的觀察角度,。根據(jù)使用者體型和觀察姿勢的不同,，可將三目鏡筒調(diào)節(jié)到*位置松隨意的進(jìn)行觀察。

 載物臺微調(diào)手輪無需移動工件

不用移動工件,，載物臺微調(diào)手柄位置固定于顯微鏡主機(jī)操作部旁,。

所有的操作部都盡在手邊，移動載物臺,、對焦等顯微操作,，不用抬手，只需動動手腕就可輕松執(zhí)行,。

耐久性比以前高3倍的電動通用物鏡轉(zhuǎn)換器 新

zui多可以安裝到6個物鏡,。和偏心較小的物鏡結(jié)合使用，用高倍物鏡觀察時切換倍率也很少會出現(xiàn)圖象閃動現(xiàn)象,。

從低倍到高倍的自由切換更穩(wěn)定,。考慮到使用者,，在旋轉(zhuǎn)物鏡轉(zhuǎn)換器時會自動切斷照明光路,，避免光直接照射使用者眼晴。

對焦目標(biāo)

對焦目標(biāo)可移入光路,，這一特性對于裸硅片之類的低對比度工件的正確對焦成為方便,。

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顯微鏡操作部位集中于底座前部

操作手輪、按鍵等,，都集中于底座前部,，更便于使用。一看就能快捷高效的進(jìn)行顯微操作,。大大減輕了長時間觀察的疲勞感,。

獲取*圖象，提升與顯微鏡用數(shù)碼相機(jī)的聯(lián)動力

 實現(xiàn)了從觀察到圖象拍攝,、分析的*整體化

  ·尼康開發(fā)提供了便于使用的顯微鏡,、數(shù)碼相機(jī)和軟件一體化的高機(jī)能設(shè)備系統(tǒng)。

  ·支持從設(shè)定*觀察條件,，到數(shù)碼拍攝→處理→分析的整個流程,。

用于LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L200N

Wafer Loader NWL200系列  

 與ECLIPSE L200N相結(jié)合，對應(yīng)的硅片檢查需要。

 運用獨立的尼康技術(shù),，穩(wěn)定傳輸超薄型100um硅片,。