RPS8000-新型溝槽刻蝕諧振式（TERPS）壓力傳感器

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August 8, 2010- GE檢測(cè)控制技術(shù)業(yè)務(wù)旗下壓力傳感技術(shù)部門(mén)發(fā)布新型溝槽刻蝕諧振式（TERPS）壓力傳感器技術(shù)平臺(tái)RPS8000，在顯著提高與傳統(tǒng)諧振壓力技術(shù)相關(guān)的壓力測(cè)試范圍的能力的同時(shí),，提供10倍于現(xiàn)有的壓阻式壓力傳感器的精度和穩(wěn)定性,。溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器是在對(duì)現(xiàn)有硅諧振壓力傳感器的設(shè)計(jì)和制造過(guò)程進(jìn)行深入的研發(fā)結(jié)果，它在從航空航天到海洋工程,海底勘探作業(yè),，從過(guò)程工藝到工業(yè)儀器設(shè)備等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。

該產(chǎn)品Steve Sajben解釋?zhuān)和ㄟ^(guò)繼承我們旗下德魯克技術(shù)，我們幾年就前已經(jīng)能夠提供RPT系列的硅諧振產(chǎn)品,。在這段時(shí)間里,，我們通過(guò)公司內(nèi)部以及與相關(guān)研發(fā)機(jī)構(gòu)合作，進(jìn)一步拓展了并研發(fā)出更*的制造工藝,，使GE提供的壓力傳感器不僅僅具有硅諧振壓力傳感器固有的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,，而且在壓力范圍、溫度范圍和機(jī)械封裝等方面都有*地提高,。

溝槽刻蝕諧振式（TERPS）壓力傳感器工作原理和GE公司已有的諧振硅壓力傳感器*,。硅共振結(jié)構(gòu)通過(guò)靜電場(chǎng)而驅(qū)動(dòng)，當(dāng)壓力施加到膜片上時(shí),，硅諧振器就像一個(gè)吉他弦一樣被拉伸,，改變它的頻率，這種頻率的變化直接與施加的壓力相關(guān),。

因?yàn)椴捎昧藛尉Ч杞Y(jié)構(gòu)的力學(xué)特性,，諧振硅壓力傳感器比壓阻式以及許多其他的壓力測(cè)量技術(shù)更加精確和穩(wěn)定。主要的特性在于硅在其斷裂點(diǎn)之前*彈性,，*的力學(xué)特性為傳感器帶來(lái)一個(gè)高品質(zhì)的諧振（高Q值因子）,，其頻率穩(wěn)定性不受產(chǎn)品內(nèi)電子特性的影響。相比之下,，壓阻技術(shù)需要把電阻元件引入到硅晶體結(jié)構(gòu)中,。這些應(yīng)力靈敏電阻的電學(xué)性能不穩(wěn)定，對(duì)電學(xué)增益敏感,。由于諧振傳感器充分利用硅的機(jī)械性能,，具有很低的滯后和重復(fù)性錯(cuò)誤以及非常好的*穩(wěn)定性能。溫度特性的可重復(fù)型使其可以被修正,。這些方面的特性一起造就了溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器對(duì)壓力和溫度變化下的*的性能,。

通過(guò)使用深度反應(yīng)離子刻蝕工藝技術(shù)，它可以在諧振腔內(nèi)構(gòu)建任意復(fù)雜的幾何結(jié)構(gòu),。這對(duì)于優(yōu)化設(shè)計(jì)和諧振器的性能以實(shí)現(xiàn)更高的壓力范圍和溫度范圍是非常必要的,。此外，硅熔融鍵合的使用使得傳感器的組件可以分開(kāi)單獨(dú)加工,，熔融在一起后仍保留單晶硅的特性,。同時(shí),，傳感器部件設(shè)計(jì)的*靈活性可使其擁有更高的壓力和溫度范圍。

這兩個(gè)工藝伴隨著其他專(zhuān)有的設(shè)計(jì)組件,，例如一個(gè)新的從諧振器中得到更強(qiáng)的信號(hào)的頻率檢測(cè)方法,，使得該傳感器可采用重油隔離膜片封裝方式。相對(duì)于其他*于干燥無(wú)腐蝕性氣體的高精度傳感技術(shù)而言,，這是一個(gè)*的改進(jìn),。此外，溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器中相關(guān)電子器件的近一步開(kāi)發(fā)使其可以應(yīng)用與更高的溫度環(huán)境,。