勻膠旋涂儀650MZ(英文名：Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜

詳細介紹：勻膠機(英文名：Spin Coater& Spin Processor)
行業(yè)俗稱：勻膠臺,、勻膠機、旋涂儀,、涂膠機,、鍍膜機,、涂層機
型號：650Mz-23NPP/OND
一、產(chǎn)品概述：
   勻膠旋涂儀650MZ適應于半導體,、化工材料,、硅片、晶片,、基片,、導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆,。MYCRO的MSC系列勻膠機具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,，可以保證半導體中膠厚度的*性和均勻性，這正是650S 型勻膠機的特點,。
二,、勻膠機工作原理：
勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,，甩膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān),。
三,、勻膠機主要性能指標：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米),；
2,、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm,，小于10mm提供3mm的轉(zhuǎn)接托盤）,；
3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm,，
4,、旋涂加速度：0-12000rpm/sec；
5,、馬達旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差 < ±1%,；
6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度：<1rpm,，重復性< 0.2rpm,；
7、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度,；
8,、勻膠機材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方,；
9,、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點精度小于0.006%,。
10,、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài),；
11、分辨率：分辨率小于1轉(zhuǎn)/分,，可重復性小于±1轉(zhuǎn)/分,，美國國家標準技術(shù)研究院（NIST）認證過的，并且無需再校準,！]
12,、配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲,；
13,、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；
14,、*水平測試儀,；  
15、兩袋密封圈,；  
16,、廢液接收單元；
17,、IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計,，帶遠程控制；,；

可選配置：
OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計,，帶遠程控制；
UD自動滴膠裝置：UD-2帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒,，
EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊,，機械裝置；