臺式勻膠機/旋涂儀 型號HAD-01

 勻膠機適用于半導(dǎo)體硅片,，載玻片,，晶片，基片,，ITO 導(dǎo)電玻的半導(dǎo)體工藝,、制版、及表面涂覆等工藝,，該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速,，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。勻膠機具有快速啟動,、快速切換轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)速穩(wěn)定的性能,，能夠保證膠膜厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制,，實現(xiàn)啟/?？煽兀D(zhuǎn)速實時觀察,、三檔轉(zhuǎn)速可來回切換等功能,，啟動后在低速下進行勻膠，再切換至高速下進行甩膠,，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào),；儀器配置了“安全開關(guān)”按鈕，儀器運轉(zhuǎn)時,，上蓋處于關(guān)閉狀態(tài),，一旦上蓋打開，將觸發(fā)“安全開關(guān)”,，儀器停止運轉(zhuǎn),，起到保護作用。

2. 臺式勻膠機技術(shù)參數(shù) 

 轉(zhuǎn)速：硅片 4 英寸（含）以內(nèi) 300-8500RPM,；4 英寸以上 300-6000RPM 

 時間控制：1-32767s 

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1% 

膠的均勻性：±3% 

參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù) 

 適用于φ28 至φ200mm 硅片及其它材料等勻膠 

電源輸入：AC220V±10V,，50HZ 

 功率：60W 

 重量：13kg 

外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D） 

 工作環(huán)境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %