技術參數(shù)

量  程：0 ~ 10/100/1000ppm, 1/25% O₂ 自動或手動調(diào)節(jié)。

傳感器：超級Galvanic電化學傳感器,。

準確度：量程的1%（在常溫,，常壓下）。

分辨率：量程的0.1%,。

傳感器壽命：36個月（在100ppm下）,。

線性度：R平方值>0.995。

校準氣：建議采用80%FS O₂ in N₂標準氣,。

響應時間：20秒達到90%,。

回復時間：15分鐘從空氣（30秒）到10ppm。

10分鐘從9ppm（2分鐘）到10ppb,。

操作條件

應用領域：半導體,、空分、特氣行業(yè),。

測量介質(zhì)：H--₂,、He、碳氫化合物,、惰性氣體,、混合氣體等。

接  口：進出氣口采用1/4”或1/8”卡套接頭,。

壓  力：20 ~ 100psig（zui大150psig）,。

溫  度：-5 ~ +45℃。

流  量：1 ~ 3 SCFH,，*：2 SCFH（立方英尺/每小時） ,。

物理特征

封  裝：氧化鋁材質(zhì)，面板安裝。 

體  積：190 x 274 x 315mm,， 開孔尺寸：178 x 223mm,。

重  量：約5Kg。

選件

—壁掛式安裝或19”支架安裝（見右圖）,。

—恒溫控制系統(tǒng),。

—可選GPR-1600MS： 0 ~ 10/100/1000ppm, 1/25% O₂。