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池田屋現(xiàn)貨??！富士金FUJIKIN   數(shù)控閥  FPR-PSD-21-6.35UGC#B

富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流體控制設備制造商，其產(chǎn)品廣泛應用于半導體,、光伏,、科研等領域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能數(shù)字控制閥（數(shù)控閥）,，專為高精度氣體流量控制設計,，適用于嚴苛的工業(yè)環(huán)境。

1. 主要特點

高精度控制：流量控制精度可達 ±1% FS（滿量程）,，適用于微流量調(diào)節(jié),。

快速響應：開關時間 毫秒級（通常20-50ms），適合高速工藝需求,。
耐腐蝕材料：閥體通常采用不銹鋼（SUS316L）,，密封材料可選氟橡膠（FKM）、EPDM等,，適用于腐蝕性氣體（如HCl,、Cl?、NH?等）,。
數(shù)字信號控制：支持RS-485,、EtherCAT、PROFIBUS等通信協(xié)議（具體取決于配置）,，或模擬信號（4-20mA/0-5V）輸入,。
緊湊設計：體積小，適合高密度安裝,，節(jié)省設備空間,。
高可靠性：適用于7×24小時連續(xù)運行，壽命長,，維護需求低,。

2. 典型應用

• 半導體制造：用于CVD（化學氣相沉積）、蝕刻,、離子注入等工藝的氣體流量控制,。

• 光伏行業(yè)：在薄膜太陽能電池制造中控制SiH?、NH?,、NF?等特種氣體,。

• 實驗室設備：如氣相色譜（GC）、質譜儀（MS）等需要高精度流量控制的場景,。

3. 技術參數(shù)（示例,，具體以數(shù)據(jù)為準）