新型Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox 在性能,、功能、效 率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的 3D光 學(xué)輪廓儀,，是新一 代共聚焦顯微鏡測量系統(tǒng),。

驚人的測量速度

通過采用新的智能和自有的算法以及新型相機(jī)，達(dá)到驚人的測量速度,。數(shù)據(jù)采集速度達(dá) 180 fps,。標(biāo)準(zhǔn)測量采集速度比以前快 5 倍。新型Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox  成為市場上速度極快的表面測量系統(tǒng),。

易于使用

Sensofar 致力于為客戶提供最令人難以置信的體驗(yàn),。隨著第五代 S neox 共聚焦顯微鏡系統(tǒng)的誕生，我們的目標(biāo)是使其易于使用,、直觀且更快速,。即使是初學(xué)者，只需點(diǎn)擊一下,，即可操作測量,。模塊化設(shè)計(jì)的軟件,，使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。

功能靈活多樣

質(zhì)量管理

質(zhì)量管理

豐富的自動(dòng)化模塊,，方便進(jìn)行質(zhì)
量管控,。從操作員訪問權(quán)限控制、測量程序存儲(chǔ),、兼容性到條形碼/QR 讀取器,，以及我們專有 SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動(dòng)生成分析報(bào)告,。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作,，其具有靈活性和易于使用的界面，可編程并24小時(shí)工作,。

研發(fā)

研發(fā)

Sensofar 的三合一方法—只需點(diǎn)擊一次,，系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測量任務(wù)的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測量技術(shù)—共聚焦,、干涉,、Ai 多焦面疊加—這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻(xiàn)，并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn),。S neox 是所有實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的理想之選,適用范圍廣泛,。

四合一技術(shù)

Ai 多焦面疊加^NEW!

主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí),，專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測量,。通過使用主動(dòng)照明，即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù),，這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn),。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表面(高達(dá) 86o),更快的速度(mm/s）和較大的垂直范圍測量。

共聚焦

共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是,，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度,。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達(dá) 0.14μm 水平分辨率,，空間采樣可減少到 0.01μm,，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達(dá)NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面,。對于粗糙表面,，可允許 86°。自有的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性,。

干涉

光學(xué)干涉是利用參考鏡和樣本上產(chǎn)生的兩束反射光在零光程差時(shí)產(chǎn)生干涉的現(xiàn)象來生成三維干涉圖樣（干涉圖）,，包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應(yīng)用。

薄膜

薄膜測量技術(shù)快速,、準(zhǔn)確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度,，且不需要樣品制備,。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較,，準(zhǔn)確地找到匹配的厚度,。可以在不到一秒鐘的時(shí)間內(nèi)測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜,。測量光斑取決于物鏡放大率,，范圍從0.5μm到40μm。

LED光源的優(yōu)勢

用LED做照明光源要比用激光更有優(yōu)勢,。首先LED光源可以避免發(fā)生激光光源的散斑現(xiàn)象,。其次LED光源的使用壽命約50000小時(shí)（約25倍于激光）。最重要的是多個(gè)LED就意味著可以根據(jù)樣品的需求選擇適合的波長來測量,。

可追溯的精確測量

每一臺(tái)SNEOX都是為了實(shí)現(xiàn)精確且可追溯地測量,。我們的設(shè)備使用符合ISO25178中的Part 700和Part 600標(biāo)準(zhǔn)的可追溯標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行校正。所有的指標(biāo),，包括高度及水平精度,、平面度偏差、系統(tǒng)分辨率等都以測量此類標(biāo)準(zhǔn)塊而得到,。我們堅(jiān)持所有的測量設(shè)備按照此標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,。

SNEOX出廠前都采用已計(jì)量、可追溯的標(biāo)準(zhǔn)塊做校正,，并且確認(rèn)符合標(biāo)準(zhǔn)才會(huì)出廠,。同時(shí)SENSOFAR會(huì)隨設(shè)備附上測量精度和重復(fù)性的檢測報(bào)告

ISO 標(biāo)準(zhǔn)

高分辨率

垂直分辨率受到儀器噪聲的限制，儀器噪聲對于干涉測量是固定的,，但共聚焦測量依賴的數(shù)值孔徑,。Sensofar 專有算法以光學(xué)儀器更佳的橫向分辨率為測量技術(shù)提供納米級(jí)系統(tǒng)噪聲。所示的形貌是亞納米 (0.3 nm) 原子層,。由 PTB 提供,。

DIC 觀察

微分干涉 (DIC) 用于強(qiáng)調(diào)在正常觀察中沒有對比度的非常小的高度特征。通過使用 Nomarski 棱鏡,，產(chǎn)生了干涉圖像,，解決了在明視場或共聚焦圖像中不可見的亞納米級(jí)結(jié)構(gòu)。

Sensoafar共聚焦顯微鏡 S neox  軟件系統(tǒng)SENSOSCAN

樣本導(dǎo)航

概覽工具,，可幫助用戶在測量準(zhǔn)備過程中檢查樣品,、在采集之前檢查測量位置以及協(xié)助實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化程序。讓您時(shí)刻掌握測試進(jìn)度,，讓高倍率測量變得更加簡單,。

自動(dòng) 3D 功能

選擇 3D 自動(dòng)功能，SensoSCAN 軟件
將自動(dòng)確定正確的照明和合適的測量范圍,，
然后執(zhí)行所選的測量類型,。因此，您可以在幾秒鐘內(nèi)獲得高質(zhì)量的結(jié)果,。

分析與報(bào)告

還可以創(chuàng)建分析模板,，將預(yù)定的過濾器和操作員配置應(yīng)用于重復(fù)的測量。
最后,，為每次測量產(chǎn)生清晰且結(jié)構(gòu)良好的報(bào)告,，包括 3D 數(shù)據(jù)、2D 輪廓和所有 ISO 參數(shù),。

自動(dòng)化程序模塊

自動(dòng)測量模塊讓客戶更容易地實(shí)現(xiàn)自定義編程,，完成質(zhì)量管理和檢測的目標(biāo)。手動(dòng)設(shè)定測量點(diǎn)坐標(biāo)或?qū)胱鴺?biāo)文件,，為每個(gè)坐標(biāo)或批量設(shè)定量測程序,，再設(shè)定自動(dòng)影像識(shí)別對位點(diǎn)，最后定義公差范圍及報(bào)告輸出格式就完成了所有的編程工作,。

多點(diǎn)編程測量

SNEOX設(shè)計(jì)了一個(gè)全新的編程方式,。即通過自動(dòng)識(shí)別相同的結(jié)構(gòu)或產(chǎn)品類型，程序會(huì)在相同的位置復(fù)制測量點(diǎn)位和程序,。這將極大地提高編程的效率,，節(jié)省了人員編程的時(shí)間。

自動(dòng)識(shí)別對位點(diǎn)

通過影像自動(dòng)識(shí)別對位點(diǎn)并自動(dòng)進(jìn)行位置補(bǔ)正,，從而實(shí)現(xiàn)了無人干預(yù)的全自動(dòng)化測量,。使原來手動(dòng)抽檢的臺(tái)式機(jī)變身為只要手動(dòng)放完片就可以自動(dòng)測量完并給出報(bào)告的半自動(dòng)檢測設(shè)備。自動(dòng)對位點(diǎn)識(shí)別的功能也是離線抽檢設(shè)備走向工業(yè)4.0必須要具備的能力,。

SensoVIEW

強(qiáng)大的分析軟件

3D 和 2D 交互式視圖提供多種比例、顯示和渲染選項(xiàng),。提供全套工具套裝,，適用于對 3D 或 2D 測量進(jìn)行初步檢查和分析。測量臨界尺寸,、角度,、距離、直徑,，以及使用新的注釋工具突出顯示特點(diǎn)。

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SensoPRO

快速質(zhì)量控制

在生產(chǎn)線上執(zhí)行快速質(zhì)量控制從未顯得如此簡單,。得益于 SensoPRO,，生產(chǎn)線操作員只需要加載樣品并按照引導(dǎo)式說明操作即可?；诓寮臄?shù)據(jù)分析算法提供了高度的靈活性,。全新模塊可供輕松定制，以適應(yīng)其他行業(yè)的需求,。

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SensoMAP

高級(jí)分析軟件

SensoMAP 是一款功能強(qiáng)大的分析和報(bào)告工具,，它是基于 Digital Surf 的 Mountains 技術(shù)而開發(fā)。SensoMAP 軟件已經(jīng)模塊化,，以適應(yīng)客戶需求,。SensoMAP 提供兩個(gè)級(jí)別（標(biāo)準(zhǔn)和進(jìn)階）和多個(gè)模塊（2D、3D 或 4D 模塊,、進(jìn)階輪廓,、顆粒和粒子、統(tǒng)計(jì)和拼接）,。

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