CYR-E-NMP 在線NMP濃度檢測儀 助力半導(dǎo)體清洗提升良率
參考價(jià) | ¥ 9999 | ¥ 8888 |
訂貨量 | 1-9套 | ≥10套 |
- 公司名稱 湖南楚一機(jī)電有限公司
- 品牌 楚一測控
- 型號(hào) CYR-E-NMP
- 產(chǎn)地 湖南長沙
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/8 15:39:40
- 訪問次數(shù) 17
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主營產(chǎn)品:在線濃度計(jì),濃度在線光電折光儀,,在線濃度測定儀,,溶液在線濃度儀,在線濃度折光儀,,濃度在線檢測儀,,在線濃度檢測儀,在線折光儀,,在線濃度測量儀,,濃度在線監(jiān)測儀,濃度在線監(jiān)控自動(dòng)配液設(shè)備,,在線濃度測試儀,。
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
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測量范圍 | 0 - 100% | 測量精度 | ±0.1% |
測量溫度 | 0至130℃ | 溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
觸液面材質(zhì) | 超純PTFE或PFA | 輸入電源 | DC 24V |
信號(hào)輸出 | DC 4-20mA & RS485 | 防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1 MPa | 清洗選項(xiàng) | 可選自動(dòng)清洗組件 |
產(chǎn)品介紹
在半導(dǎo)體清洗工藝中,控制 NMP 濃度至關(guān)重要,,而基于折光原理的在線NMP濃度檢測儀正是該領(lǐng)域的主流選擇之一,,能有效助力半導(dǎo)體清洗提升良率。
半導(dǎo)體清洗需要控制 NMP濃度,。NMP是高效的光刻膠剝離劑和清洗溶劑,,濃度直接影響其溶解能力。濃度過低會(huì)導(dǎo)致清洗困難,,出現(xiàn)光刻膠殘留,;濃度過高則可能造成過度刻蝕或損傷敏感結(jié)構(gòu)。此外,,濃度波動(dòng)會(huì)使晶圓批次間的清洗效果出現(xiàn)差異,,成為良率波動(dòng)的潛在因素。
在線NMP濃度檢測儀檢測NMP濃度具有諸多優(yōu)勢,。它能夠?qū)崟r(shí)連續(xù)監(jiān)測,,提供每秒更新的濃度數(shù)據(jù),及時(shí)反饋清洗槽或循環(huán)管路中 NMP 的實(shí)際狀態(tài),,快速響應(yīng)異常情況,,避免整批晶圓報(bào)廢。現(xiàn)代在線折光儀在 NMP 的典型工作濃度范圍內(nèi)精度高,,測量基于物理光學(xué)原理,,不受溶液顏色、氣泡,、懸浮物等干擾,,穩(wěn)定性優(yōu)于電導(dǎo)率或 pH 法。儀表設(shè)計(jì)良好,,無耗材,減少長期運(yùn)營成本和維護(hù)頻次。
在半導(dǎo)體清洗中,,NMP 濃度在線分析儀有多個(gè)典型應(yīng)用點(diǎn),,如光刻膠剝離槽主槽或循環(huán)管路中 NMP 工作液濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)控與自動(dòng)補(bǔ)液,清洗 / 漂洗槽監(jiān)控 NMP 殘留或回收液濃度,,NMP 回收系統(tǒng)監(jiān)測蒸餾提純后 NMP 的純度,,以及廢液處理前監(jiān)控確保廢液濃度符合處理裝置要求。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CYR-E-NMP |
測量項(xiàng)目 | 折射率,、溫度,、濃度 |
測量范圍 | 0-100% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石 |
信號(hào)輸出 | DC4至20mA & RS485,;2路開關(guān)量信號(hào)輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級(jí)可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機(jī)操作面板可查看濃度,、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示,、一鍵校零,、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能 |