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FLTZ-203W 常溫型冷水機(jī) 高精度三通道水冷機(jī)chiller
參考價(jià) | ¥ 137978 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
- 品牌 冠亞恒溫
- 型號(hào) FLTZ-203W
- 產(chǎn)地 江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)翰林路55號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/4 10:13:43
- 訪問次數(shù) 69
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制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng),、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng),、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機(jī),、低溫制冷循環(huán)器,、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱,、低溫冷凍機(jī),、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-50萬(wàn) |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
常溫型冷水機(jī) 高精度三通道水冷機(jī)chiller
常溫型冷水機(jī) 高精度三通道水冷機(jī)chiller
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,薄膜沉積工藝對(duì)設(shè)備的穩(wěn)定性要求較高,,而薄膜沉積直冷機(jī)PVD chiller作為關(guān)鍵的溫控設(shè)備之一,,其運(yùn)行狀態(tài)直接影響薄膜沉積的質(zhì)量和效率。做好PVD chiller的日常保養(yǎng)工作,,能夠減少設(shè)備故障,,延長(zhǎng)設(shè)備使用周期,保障生產(chǎn)的順利進(jìn)行,。
一,、制冷系統(tǒng)的日常保養(yǎng)
制冷系統(tǒng)是薄膜沉積直冷機(jī)PVD chiller的核心部分之一,,需要對(duì)其進(jìn)行科學(xué)合理的保養(yǎng)。
每日需檢查制冷系統(tǒng)的壓力情況,,包括高壓和低壓壓力,。查看壓力表讀數(shù)是否在正常范圍內(nèi),若壓力異常,,需及時(shí)分析原因并處理,。
二、循環(huán)系統(tǒng)的保養(yǎng)要點(diǎn)
循環(huán)系統(tǒng)的正常運(yùn)行是保證薄膜沉積直冷機(jī)PVD chiller冷卻效果的關(guān)鍵原因之一,。
檢查循環(huán)液的流量是否穩(wěn)定,。查看流量計(jì)的讀數(shù),若流量出現(xiàn)下降,,可能是由于管路堵塞,、循環(huán)泵故障或閥門開度不足等原因。首先檢查閥門是否打開,,然后檢查管路是否有堵塞,,可通過(guò)清洗過(guò)濾器或管路來(lái)解決。
三,、控制系統(tǒng)的維護(hù)措施
控制系統(tǒng)是薄膜沉積直冷機(jī)PVD chiller準(zhǔn)確控溫的保障,,需對(duì)其進(jìn)行細(xì)致的維護(hù)。檢查控制系統(tǒng)的顯示界面,,查看溫度,、壓力、流量等參數(shù)的顯示是否正常,。若發(fā)現(xiàn)顯示異常,,如溫度顯示不準(zhǔn)確或無(wú)顯示,應(yīng)檢查溫度傳感器是否正常,??赏ㄟ^(guò)對(duì)比其他溫度測(cè)量設(shè)備的讀數(shù)來(lái)判斷傳感器的準(zhǔn)確性,若傳感器失靈,,需及時(shí)更換。
定期檢查PLC控制器的運(yùn)行狀態(tài),。觀察控制器上的指示燈是否正常,,有無(wú)警告信號(hào)。若出現(xiàn)警告,,應(yīng)根據(jù)警告代碼分析原因并采取相應(yīng)的解決措施,。同時(shí),確??刂破鞯某绦蛟O(shè)置正確,,避免因程序錯(cuò)誤導(dǎo)致控溫異常,。此外,檢查控制系統(tǒng)的通信功能是否正常,,包括與上位機(jī)的通信和各傳感器,、執(zhí)行元件之間的通信。
對(duì)薄膜沉積直冷機(jī)PVD chiller通過(guò)細(xì)致的日常保養(yǎng)工作,,能夠提高薄膜沉積直冷機(jī)PVD chiller的運(yùn)行穩(wěn)定性和可靠性,,為半導(dǎo)體薄膜沉積工藝的順利進(jìn)行提供控溫支持。
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