真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
- 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
- 品牌 ZOLIX/卓立漢光
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/2 9:32:11
- 訪問次數(shù) 120
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,農(nóng)林牧漁,電子/電池,綜合 |
真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
特點
空氣彈簧支撐,,磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)
機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)正剛度機(jī)構(gòu)
適用1E-4Pa的真空環(huán)境
6自由度主動隔振
主動隔振帶寬低至0.5Hz起
標(biāo)品負(fù)載最大支持7000KG
水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)160N
總體規(guī)格(長、寬,、高)多種規(guī)格可選
核心控制系統(tǒng)全部自研
核心部件國產(chǎn)化
技術(shù)指標(biāo)
主動隔振帶寬:0.5-150Hz
臺面穩(wěn)定性:≤±5um
傳遞率:≤-20dB@2Hz,,≤-35dB@5Hz,≤-50dB@10Hz
水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)270N
系統(tǒng)支持最大功率400W
臺面平面度:NTBP:0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK:0.1mm/600mm×600mm
大理石臺面:0級,、1級,、2級、3級可選(GB/T20428-2006)
臺面厚度:100/200/300mm
孔徑:可定制孔徑
孔距:可定制孔距或特殊位置打孔
標(biāo)品單腿最大承載能力:1800Kg
真空主動隔振平臺ZVI-VB系列命名規(guī)則
選型表:(M,、K,、P參考具體臺面信息)
產(chǎn)品型號 | 整體規(guī)格(L*W:mm) | 臺面上負(fù)載要求(kg) | 臺面厚度(mm) | 隔振器規(guī)格 (L*W*H:mm) | 單腿重量 |
ZVI-VB-30-15M | 3000×1500 | 100-2000 | 400 | 1060×900×202 | 40kg |
尺寸圖:
型號 | 尺寸( mm) | ||||
L | W | T | H1 | H2 | |
ZVI-VB-30-15M | 3000 | 1500 | 400 | 900 | 500 |
相關(guān)案例:
光刻機(jī):確保光刻膠的精確涂布和曝光。
刻蝕設(shè)備:在納米精度上進(jìn)行精確加工,,確保芯片電路的完整性,。