化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制冷設(shè)備>冷水機(jī)/冷卻循環(huán)水機(jī)> 半導(dǎo)體三通道冷水機(jī)chiller怎么調(diào)試
半導(dǎo)體三通道冷水機(jī)chiller怎么調(diào)試
參考價(jià) | ¥ 89155 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 無(wú)錫德偲商貿(mào)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 無(wú)錫新吳區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/27 10:15:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 8
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,電氣 |
關(guān)于我們
無(wú)錫德偲商貿(mào)有限公司是一家以客戶為本的公司,公司專業(yè)從事半導(dǎo)體控溫裝置Chiller,、恒溫空調(diào)及制冷加熱管路的翻新維修服務(wù),,為半導(dǎo)體、太陽(yáng)能,、LED,、LCD等領(lǐng)域提供設(shè)備維護(hù)解決方案。
支持所有的Chiller/Heat exchanger提供維修翻新服務(wù),,包括Neslab,、SMC、Bay Voltex,、Edwards,、Lam、M&W,、AMAT,、Daikin、Lytron/Affinity,、ATS等的產(chǎn)品維護(hù)保養(yǎng),。
我們注重著市場(chǎng)需求,提供靈活可靠的溫度控制解決方案,,特的熱交換技術(shù)和高精確控溫技術(shù),,以及非標(biāo)定制的產(chǎn)品,滿足客戶需求,。
無(wú)錫德偲商貿(mào)有限公司提供以下服務(wù):
Chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)
我們提供Chiller的各類chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù),,以降低設(shè)施的能源成本并提高其能源效率。半導(dǎo)體三通道冷水機(jī)chiller怎么調(diào)試
改善和保持Chiller的性能
無(wú)錫德偲提供的Chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)保證您的設(shè)備獲得適當(dāng)和及時(shí)的保養(yǎng)維護(hù)服務(wù),,以確保其順利,,有效地運(yùn)行。借助無(wú)錫德偲提供的維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù),,您將在發(fā)生故障之前意識(shí)到預(yù)期的問(wèn)題,,使您有機(jī)會(huì)根據(jù)時(shí)間表安排chiller維護(hù),并防止任何停機(jī)時(shí)間,。半導(dǎo)體三通道冷水機(jī)chiller怎么調(diào)試
無(wú)錫德偲提供的所有Chiller維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)確保您的冷水機(jī)在必要時(shí)會(huì)產(chǎn)生冷水,,并具有滿足您設(shè)施的需求的冷卻能力。我們還確保其具有良好的水質(zhì)和適當(dāng)?shù)牧魉?。我們將檢查您的控制系統(tǒng),,以確保它們使您的冷水機(jī)保持適當(dāng)?shù)乃?,從而表現(xiàn)良好。
提高冷水機(jī)的效率,,降低您的成本
我們的維護(hù)維修保養(yǎng)翻新服務(wù)使您的Chiller保持良好,,以確保您的能量和維修成本更小。立即聯(lián)系以制定預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃,。
我們的專業(yè)團(tuán)隊(duì)擁有數(shù)十年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),,長(zhǎng)期與國(guó)內(nèi)外企業(yè)緊密合作。我們提供全國(guó)范圍內(nèi)的chiller故障的快速支持,,并可在我們的工廠進(jìn)行高標(biāo)準(zhǔn)的保養(yǎng)維修,。
半導(dǎo)體刻蝕工藝作為芯片制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一,對(duì)設(shè)備溫控精度有著嚴(yán)苛要求,??涛g冷水機(jī)Etch Chiller作為該工藝的溫控設(shè)備之一,其性能直接影響刻蝕的均勻性,、精度及設(shè)備穩(wěn)定性,。
一、半導(dǎo)體刻蝕工藝對(duì)溫控的特殊需求
在半導(dǎo)體刻蝕過(guò)程中,,等離子體的產(chǎn)生與穩(wěn)定性,、刻蝕速率的均勻性以及刻蝕輪廓的準(zhǔn)確控制,都高度依賴于工藝溫度的準(zhǔn)確調(diào)控,。溫度波動(dòng)會(huì)導(dǎo)致等離子體密度變化,,進(jìn)而影響刻蝕選擇性與刻蝕速率的一致性。同時(shí),,刻蝕設(shè)備內(nèi)部的射頻電源,、微波發(fā)生器等關(guān)鍵部件在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量熱量,若不能及時(shí)冷卻,,不僅會(huì)降低部件使用周期,,還會(huì)引發(fā)設(shè)備故障,,影響刻蝕工藝的連續(xù)性,。
二,、刻蝕冷水機(jī)的關(guān)鍵作用
刻蝕冷水機(jī)Etch Chiller機(jī)在半導(dǎo)體刻蝕工藝中承擔(dān)著多重關(guān)鍵作用。其一,,為刻蝕腔體提供穩(wěn)定的低溫環(huán)境,確保等離子體在適宜的溫度范圍內(nèi)產(chǎn)生和維持,,從而保證刻蝕過(guò)程的穩(wěn)定性和重復(fù)性,。通過(guò)準(zhǔn)確控制冷卻介質(zhì)的溫度,刻蝕冷水機(jī)能夠控制腔體溫度的波動(dòng),,使刻蝕速率保持在理想范圍內(nèi),。其二,,該設(shè)備對(duì)刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的熱量進(jìn)行及時(shí)移除,避免熱量在設(shè)備內(nèi)部積聚,。