HONDA本多 W-357-1MQG-SKC  振動(dòng)式清洗機(jī)

HONDA本多 W-357-1MQG-SKC  振動(dòng)式清洗機(jī)

 家

產(chǎn)品信息

工業(yè)產(chǎn)品

產(chǎn)品陣容

超聲波清洗設(shè)備

石英振動(dòng)式清洗機(jī)[高頻石英振動(dòng)式]

石英振動(dòng)類型

實(shí)現(xiàn)低損傷,、高清潔度的新一代清洗技術(shù)

2006年，我們成功將 臺(tái)石英振子式超聲波清洗裝置投入實(shí)際應(yīng)用,。

該裝置通過將超聲波疊加在石英振子上來清洗半導(dǎo)體晶圓,。

與批量清洗或流水清洗相比，該裝置的優(yōu)點(diǎn)在于,，可以減少化學(xué)藥劑的使用量,，并且由于與液體接觸的部分只有石英玻璃，填料等橡膠材料不會(huì)與液體接觸,，因此可以保持較高的清潔度,。

此外，通過根據(jù)用途調(diào)整石英振子的形狀,，可以根據(jù)需要進(jìn)行低損傷清洗,、大面積清洗,、斜面（邊緣面）和缺口（晶圓邊緣面的切口部分）清洗等有效的清洗。

概述

特征

以最小的損傷清洗具有精細(xì)圖案的晶圓

■通過將超聲波疊加在石英振子上來清洗半導(dǎo)體晶圓,。

通過將石英振子的超聲波振動(dòng)通過藥液傳遞到半導(dǎo)體晶圓,，接觸點(diǎn)的藥液會(huì)振動(dòng)，通過加速度去除表面污垢,。

■實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓損傷最小的清潔清洗通過

在與藥液的接觸部分使用石英,，與使用填料等橡膠材料的設(shè)備相比，可以實(shí)現(xiàn)清潔清洗,，而不會(huì)產(chǎn)生橡膠的溶出或磨損,。

■配備振子冷卻功能，可以用氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振子,，從而實(shí)現(xiàn)頻率無波動(dòng)的穩(wěn)定連續(xù)運(yùn)行,。

此外，冷卻還可以防止急劇的溫度變化并延長設(shè)備壽命,。

目的

光刻膠殘留物去除

蝕刻和灰化后聚合物去除

柵極電極清洗

CMP 后清洗

規(guī)格

■ 振蕩器

   ● 輸出可變范圍：0W 至 12W（振動(dòng)器允許輸入：使用空氣吹掃冷卻振動(dòng)器時(shí),，10W 連續(xù)）

● 使用周圍環(huán)境：溫度：15 至 35°C、濕度：10 至 85%

● 外部驅(qū)動(dòng)觸點(diǎn)額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點(diǎn)輸入：DC12V 16mA 或更大

　警報(bào)輸出（主機(jī)）觸點(diǎn)容量：DC24V 0.5A

■ 附帶電纜：電源線（從 AC100V/2m 或 AC200V 2.4m 中選擇）,、控制線（5m）x 4

■ 振動(dòng)體

          ●液體溫度范圍：20至50°C

●振動(dòng)器：PZT

●材質(zhì)：振動(dòng)器：石英玻璃,、密封墊：硅橡膠、外殼：PCTFE

●電纜長度：輸出電纜1.5m+中繼電纜3.5m

●空氣吹掃接頭：適用管（外徑φ6）

*也可接受 2MHz,、3MHz,、4MHz 和 5MHz 的特殊訂單。

●電纜長度：輸出電纜5m

我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森,、EYE巖崎,、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克,、SANKO三高,、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì),、NPM日脈

NS日本科學(xué),、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田,、SUGIYAMA杉山,、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科,、MIYACHI天田,、TORAY 東麗

優(yōu)勢(shì)品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康,、AITEC艾泰克,、FUNATECH船越龍,、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰,、TORAY東麗,、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色,、KKIMAC

S-VANS斯萬斯,、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐,、HIKARIYA光屋,、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特,、JIKCO吉高,、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野,、ANRITSU安立計(jì)器

IMV艾目微,、MITUTOYO三豐、KYOWA共和,、ONOSOKKI小野,、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡,、SHOWA昭和,、THINKY新基,、AIKOH愛光,、SEM坂本電機(jī)

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密,、SANSYO三商,、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂,、

RKC理化,、MACOME碼控美、EIWA榮和,、EXCEL艾庫斯,、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品：日本紫外線照度計(jì)、紫外線裝置燈管,、LED視覺光源,、表面檢查燈、手持檢測燈

變色燈箱,、色差儀,、鹵素光源裝置,、氧氣濃度計(jì)、焊接機(jī),、應(yīng)力表面檢查儀,、LED光源機(jī)、電子天平,、粘度計(jì),、膜厚計(jì)、恒流泵,、采樣泵,、PH計(jì)、水分計(jì),、地震測試儀,、脫泡攪拌機(jī)、壓力傳感器,、氣體檢測儀,、接近開關(guān)、拉拔機(jī),、異音檢測儀,、應(yīng)變測試儀、拉針儀,、水平測試儀等氣動(dòng)元件：SMC  FESTO  CKD,MAC,，安沃馳AVENTICS，雄克SCHUNK,，小金井KOGANEI,，諾冠NORGREN，寶德BURKERT,，力士樂REXROTH,，濱霸BIMBA，康茂勝CAMOZZI,，PIAB

傳感開關(guān)：邦納BANNER,，巴魯夫BALLUFF，皮爾茲PILZ,易福門IFM,，西克SICK,圖爾克TURCK,良信,，安士能EUCHNER，倍加福P+F,，穆爾MURR,，倍福BECKHOFF，德森克DI-SORIC，施邁賽SCHMERSAL,，基恩士KEYENCE,，歐姆龍OMRON，

電氣控制：西門子SIEMENS,，施耐德 SCHNEIDER,，伊頓-穆勒EATON，羅克韋爾A-B,，ABB,，三菱MITSUBISHI，丹佛斯DANFOSS,，倫茨LEUZE,，SEW

端子連接器：菲尼克斯PHOENIX，魏德米勒WEIDMULLER,，浩亭HARTING,，高松電子