UTM300A-MS 日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
參考價 | ¥ 20000 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 UTM300A-MS
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/23 13:57:59
- 訪問次數(shù) 27
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應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
日本ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵
特征
泵體與控制器分離 控制器可監(jiān)控運行狀態(tài),,支持各種通訊標準。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統(tǒng)設計靈活,。
抽速 300L/s 至 4000L/s 級產(chǎn)品陣容
泵旋轉范圍為 25% 至 100%
通過改變轉速來調節(jié)腔室中的壓力,。
高耐久性和安全性
通過了空氣沖入測試和著陸測試等安全確認測試。
應用
設備主要真空抽氣系統(tǒng)
- 半導體設備
- 蒸發(fā)器,,濺射系統(tǒng)
- 分析設備,,實驗裝置等主真空抽氣系統(tǒng),,用于不產(chǎn)生副反應產(chǎn)物的輕工藝。
一般用于高真空抽真空系統(tǒng),。
規(guī)格
表 1
*1:表示數(shù)字,。
*2:無防護網(wǎng),。
*3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足,。
型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A 質譜儀 | ||||||
入口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
出口 | KF25 系列 | 肯氟烴40 | ||||||||
冷卻方式 | 水 冷 | 風 冷 | 水 冷 | 風 冷 | 水 冷 | 風 冷 | 水 冷 | 風 冷 | ||
極限壓力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
抽速 *2 | 注 2 | L/s | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
氦氣 | L/s | ー | ||||||||
他 | L/s | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
H2 系列 | L/s | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
按壓率 | 注 2 | 1×109 | ||||||||
他 | 8×104 | |||||||||
H2 系列 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
最大入口壓力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
最大出口壓力 *3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
轉速 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
啟動時間 | 5 分鐘或更短 | |||||||||
安裝位置 | 在任何想要的方向 | |||||||||
表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー | 1~3 | ー |
壓力 | MPaG | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | 02~0.5 | ー | |
噪聲 | 分貝(A) | 60 | ||||||||
重量 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
推薦的前級泵 | 200L/小 更多 | 500L/小 更多 | ||||||||
控制器 | 組成 | 分離型 | ||||||||
輸入電力 | 單相 AC200 ?240V ±10%( 50/60Hz ±2Hz) | |||||||||
最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
速度變化 | 速度在額定速度的 25% 到 100% 之間變化(設置為 0.1%) | |||||||||
通信 | 聯(lián)系 | |||||||||
型號:RS-232C / RS-485 | ||||||||||
重量 | 公斤 | 8 |
*2:無防護網(wǎng),。
*3:最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足,。