工作原理

ITR90熱陰極復(fù)合規(guī)基于熱陰極電離規(guī)的原理工作。通過高溫?zé)艚z發(fā)射電子,，這些高能量電子在電場作用下加速運(yùn)動,，與真空計(jì)測量空間內(nèi)的氣體分子發(fā)生碰撞。在碰撞過程中,，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去,，使氣體分子電離形成帶正電的離子。這些帶電離子在電場作用下被離子收集極捕捉收集,，形成離子流,。離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系，通過測量離子流的大小就可以測算出氣體的壓力,，從而得出真空度,。

ITR90熱陰極復(fù)合規(guī)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

電極結(jié)構(gòu)：一般由陰極（燈絲）、柵極和收集極組成,。陰極通常采用耐高溫,、發(fā)射電子性能良好的材料制成，通電加熱后發(fā)射電子,。柵極處于正電位,，用于加速從陰極發(fā)射出來的電子，使電子獲得足夠的能量去撞擊氣體分子,。收集極處于負(fù)電位,，用于收集被電離的氣體離子。

規(guī)管設(shè)計(jì)：整體規(guī)管的設(shè)計(jì)能夠保證在高真空環(huán)境下,，電子,、離子的運(yùn)動和相互作用不受外界干擾，確保測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,。

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